[实用新型]一种场发射半裸磁扫描电镜用样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种场发射半裸磁扫描电镜用样品台，用于固定装载带磁性的固体块状试样以安全可靠地在场发射电子显微镜中进行观察。

背景技术

样品台是扫描电子显微镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过光学系统成像表征样品的局部特征。然而，扫描电镜的物镜和扫描线圈通常都是由电磁场控制，并与待观察的样品距离较短，场发射半裸磁扫描电镜更需要待观察试样浸没或半浸没在物镜的磁场中，所以用场发射半裸磁扫描电镜观察带磁性固体块状试样具有将试样吸附到物镜下极靴，造成物镜物理损坏的风险。因此，场发射扫描电镜具有不能用以观察带磁性固体块状试样的弱点。另外，目前场发射扫描电镜的常用试样台对装载试样的数量和尺寸有着很大的限制，只适用于单个小尺寸试样的观察，造成扫描电镜具有工作效率低和试样制备条件苛刻的缺点。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本实用新型的目的在于提供一种场发射半裸磁扫描电镜用样品台，可有效解决用以观察带磁性的固体块状试样，并且试样台能够同时放置多个小尺寸试样或单个大尺寸试样，提高扫描电镜的工作效率和减小试样的制备难度的问题。

本实用新型解决的技术方案是，包括有台体和固定头，台体上面有腔体，台体垂直的侧壁上有与腔体连通的固定孔，固定孔内装有固定体，台体下部中心处有固定头。

本实用新型新颖独特，结构简单，易生产，使用简单方便，安全，适用于各种场发射扫描电镜，通过试样台的样品固定装置，可实现对带磁性块状试样的牢固固定，避免了试样在物镜磁场下被吸附到物镜下极靴造成物镜物理损坏的危险。另外，该试样台还改进了样品载物台装置，通过将试样台的装载空腔改制成四个圆柱体空腔或一个长方体空腔，以实现对多个小尺寸试样或单个大尺寸试样的装载，提高了扫描电镜的工作效率和减小了试样的制备难度。因此，本使用新型对多个小尺寸或单个大尺寸带磁性的固体块状试样具有广泛的适应性，能够较大程度地提高扫描电镜的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的剖面侧视图。

图2为本实用新型的俯视图（固定孔处剖开）。

图3为本实用新型的固定体结构图。

图4为本实用新型的另一实施例俯视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作详细说明。

由图1、2所示，本实用新型包括有台体和固定头，台体5上面有腔体1，台体垂直的侧壁上有与腔体连通的固定孔2，固定孔内装有固定体3，台体下部中心处有固定头4。

为了保证使用效果，所述的台体为圆形；所述的固定体为螺钉或螺栓；所述的腔体为圆形或方形，腔体至少有一个，图2所示腔体有均布的4个，腔体为圆形，图4所示腔体有1个，腔体为方形，图4与图2所示的样品台区别仅在于腔体的形状不同，固定体的连接形式不同。

本实用新型的工作情况是，将固定头插入另设的底座上（现有设备），装载固定带磁性试样时，可以将尺寸较小的固体块状磁性试样放置于圆柱体空腔内，利用图3所示的固定体（销钉或螺钉）穿过单通固定孔和带磁性试样内同直径大小的销孔而实现对试样的牢固固定。通过这种固定方式，试样可以避免物镜磁场的吸附作用，从而避免了对物镜的物理损害。另外，这种试样台能够同时装载四个带磁性的试样，提高了扫描电镜的工作效率。

图4为本实用新型具有一个正方体空腔试样台的俯视图，如图4所示，将固定销插入底座中，该试样台具有一个正方体空腔和两个直通销孔。装载固定带磁性试样时，可以将尺寸较大的固体块状磁性试样放置于正方体空腔内，利用销钉穿过直通销孔和带磁性试样内同直径大小的销孔，并用螺母将销钉两端旋紧，从而实现对试样的牢固固定。由于这种试样台充分利用了试样台的装载空间，因而可以实现对较大尺寸固体块状磁性试样的固定，减小了对试样尺寸的要求以及制备试样的难度。

由上述结构可以看出，本实用新型包括台体及台体上的腔体，空腔由四个圆柱体空腔或一个长方体空腔构成，固定销孔由四个单通销孔或两个直通销孔组成，所述的样品的固定是由带螺纹的固定体和样品载物台装置的固定孔共同完成，它能够用以观察带磁性的固体块状试样，并且试样台能够同时放置多个小尺寸试样或单个大尺寸试样，提高扫描电镜的工作效率和减小试样的制备难度，与现有技术相比，本实用新型具有以下突出的特点和有益的技术效果：

1、试样台的固定装置，其作用是牢固可靠地固定带磁性固体块状试样，防止试样在物镜磁场的作用下被吸附到物镜的下极靴，对物镜造成不可逆的物理损坏。因而通过使用该试样台增加了各种场发射扫描电镜对带磁性试样的适应性。