[实用新型]石墨晶舟调整装置有效

专利信息
申请号: 201120411974.0 申请日: 2011-10-25
公开(公告)号: CN202339906U 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: 陈昆楷 申请(专利权)人: 广运机械工程股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;吴孟秋
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 石墨 调整 装置
【权利要求书】:

1.一种石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述石墨晶舟调整装置包括:

一车体,所述车体设有一旋转模块;

一作业平台,所述作业平台通过所述旋转模块设置于所述车体,所述作业平台前端设有一前枢接部,所述作业平台后端设有一后枢接部;

一滑动平台,所述滑动平台以一线性滑轨与所述作业平台相连,所述滑动平台上间隔地设置有多条第一定位条;

一前辅助定位上盖,所述前辅助定位上盖一端具有一前连接部,所述前连接部与所述作业平台上的所述前枢接部枢接,所述前辅助定位上盖内侧间隔地设置有多条第二定位条;以及

一后辅助定位上盖,所述后辅助定位上盖一端具有一后连接部,所述后连接部与所述作业平台上的所述后枢接部枢接,所述后辅助定位上盖内侧间隔地设置有多条第三定位条。

2.根据权利要求1所述的石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述车体设有一移动机构。

3.根据权利要求1所述的石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述作业平台上直立地设有一基准立板。

4.根据权利要求1所述的石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述作业平台两侧有两个第一定位孔,所述第一定位孔与所述前辅助定位上盖结合。

5.根据权利要求1所述的石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述第一定位条、第二定位条及第三定位条纵向呈凹字型,所述第一定位条、第二定位条及第三定位条中间各具有一陶瓷容置槽、所述第一定位条、第二定位条及第三定位条侧向具有多个间隔设置的石墨容置槽。

6.根据权利要求1所述的石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述前辅助定位上盖另一端内侧凸设有一定位板,所述定位板上设有一第二定位孔,所述第二定位孔与所述后辅助定位上盖连接。

7.根据权利要求1所述的石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述前辅助定位上盖左右两侧设有两个定位立柱,所述两个定位立柱底端设有两个第一定位插销,所述第一定位插销与所述作业平台结合。

8.根据权利要求1所述的石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述后辅助定位上盖另一端内侧设有一第二定位插销,所述第二定位插销与所述前辅助定位上盖连接。

9.根据权利要求1所述的石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述旋转模块包含一定位所述石墨晶舟倾斜角度的插销。

10.根据权利要求1所述的石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述旋转模块包含一定位所述石墨晶舟倾斜角度的伺服马达。

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