[实用新型]石墨晶舟调整装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种调整装置，尤指一种用于调整石墨晶舟的调整装置。

背景技术

在硅晶片制程中，镀膜的步骤通常是将硅晶片置入石墨晶舟，再将石墨晶舟送入炉管中进行镀膜制程，但随着使用次数的累积，石墨晶舟的表面逐渐累积杂质，使沉积在硅晶片表面的膜的差异性越大。因此，每当石墨晶舟使用一定次数后，就需要拆解开来清洗再将之组装。

传统石墨晶舟调整装置在组装时，是通过定位条及基准立板将多片石墨板定位后再将螺丝锁紧。然而，石墨晶舟组合时，石墨板与定位条之间尚有一余隙，因此无法精确定位石墨板的位置，造成石墨晶舟可靠度下降，使得组装后的石墨晶舟在进行制程时，夹持住的硅晶片在置入石墨晶舟中的过程，易与石墨板碰撞而破裂，导致产率的下降。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于提供一种石墨晶舟调整装置，以解决以往石墨晶舟拆解开来清洗，组装回去后可靠度下降的问题。

为了达成上述的目的，本实用新型提供一种石墨晶舟调整装置，包括：一车体，该车体设有一旋转模块；一作业平台，该作业平台通过该旋转模块设置于该车体，该作业平台前端设有一前枢接部，后端设有一后枢接部；一滑动平台，该滑动平台以一线性滑轨与该作业平台相连，该滑动平台上间隔地设置有多条第一定位条；一前辅助定位上盖，该前辅助定位上盖一端具有一前连接部，与该作业平台上的该前枢接部枢接，该前辅助定位上盖内侧间隔地设置有多条第二定位条；以及一后辅助定位上盖，该后辅助定位上盖一端具有一后连接部，与该作业平台上的该后枢接部枢接，该后辅助定位上盖内侧间隔地设置有多条第三定位条。

进一步地，车体设有一移动机构。

进一步地，作业平台上直立地设有一基准立板。

进一步地，作业平台两侧有两个第一定位孔，第一定位孔与前辅助定位上盖结合。

进一步地，第一定位条、第二定位条及第三定位条纵向呈凹字型，第一定位条、第二定位条及第三定位条中间各具有一陶瓷容置槽、第一定位条、第二定位条及第三定位条侧向具有多个间隔设置的石墨容置槽。

进一步地，前辅助定位上盖另一端内侧凸设有一定位板，定位板上设有一第二定位孔，第二定位孔与后辅助定位上盖连接。

进一步地，前辅助定位上盖左右两侧设有两个定位立柱，两个定位立柱底端设有两个第一定位插销，第一定位插销与作业平台结合。

进一步地，后辅助定位上盖另一端内侧设有一第二定位插销，第二定位插销与前辅助定位上盖连接。

进一步地，旋转模块包含一定位石墨晶舟倾斜角度的插销。

进一步地，旋转模块包含一定位石墨晶舟倾斜角度的伺服马达。

本实用新型具有以下有益的效果：本实用新型于车体及作业平台间设有一旋转模块，组合时，石墨板倾斜一角度，使所有石墨板在设置在定位条中时皆偏向同一侧，克服石墨板与定位条间的余隙问题，进而提高石墨晶舟组装的可靠度。

附图说明

图1为本实用新型石墨晶舟调整装置的正视图。

图2为本实用新型石墨晶舟调整装置的上视图。

图3为本实用新型第一定位条的放大示意图。

图4为本实用新型前辅助定位上盖的放大示意图。

图5为本实用新型后辅助定位上盖的放大示意图。

图6为本实用新型石墨板的放大示意图。

图7为本实用新型石墨晶舟的放大示意图。

图8为本实用新型石墨晶舟的爆炸图。

图9为本实用新型作业平台倾斜示意图。

图10为本实用新型作业平台的侧视放大示意图。

图11为本实用新型旋转机构的侧视放大示意图。

图12为本实用新型石墨晶舟侧视图。

【主要元件符号说明】

1 车体

11 移动机构

2 旋转模块

21 枢轴

22 枢轴架

221 枢轴架枢孔

222 第二角度定位孔

23 插销

3 作业平台

31 前枢接部

32 后枢接部

33 基准立板

34 第一定位孔

35 连接板

351 固定孔

352 基准定位孔

353 第一角度定位孔

4 前辅助定位上盖

41 前连接部

42 定位板

421 第二定位孔

43 定位立柱

431 第一定位插销

44 第二定位条