[实用新型]用于高温扩散炉的石英舟叉装置有效

专利信息
申请号: 201120417428.8 申请日: 2011-10-27
公开(公告)号: CN202282377U 公开(公告)日: 2012-06-20
发明(设计)人: 陈锦健 申请(专利权)人: 上海索日新能源科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 马家骏
地址: 201501 上海市金*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 高温 扩散 石英 装置
【权利要求书】:

1.一种用于高温扩散炉的石英舟叉装置,其特征在于,它包括一不锈钢棒及设置在所述不锈钢棒后端的石英套管,所述不锈钢棒的前端设置有一可在垂直方向上旋转的活动挡块,所述活动挡块套装在所述不锈钢棒前端。

2.如权利要求1所述的用于高温扩散炉的石英舟叉装置,其特征在于,所述活动挡块呈U型,在所述活动挡块的侧面设置有通孔,在所述不锈钢棒的侧面对应于所述通孔的位置设置有旋转轴。

3.如权利要求1所述的用于高温扩散炉的石英舟叉装置,其特征在于,所述活动挡块的前端呈圆弧状。

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2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

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