[实用新型]用于高温扩散炉的石英舟叉装置有效
申请号: | 201120417428.8 | 申请日: | 2011-10-27 |
公开(公告)号: | CN202282377U | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 陈锦健 | 申请(专利权)人: | 上海索日新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 马家骏 |
地址: | 201501 上海市金*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 高温 扩散 石英 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于高温扩散炉的石英舟叉装置,其特征在于,它包括一不锈钢棒及设置在所述不锈钢棒后端的石英套管,所述不锈钢棒的前端设置有一可在垂直方向上旋转的活动挡块,所述活动挡块套装在所述不锈钢棒前端。
2.如权利要求1所述的用于高温扩散炉的石英舟叉装置,其特征在于,所述活动挡块呈U型,在所述活动挡块的侧面设置有通孔,在所述不锈钢棒的侧面对应于所述通孔的位置设置有旋转轴。
3.如权利要求1所述的用于高温扩散炉的石英舟叉装置,其特征在于,所述活动挡块的前端呈圆弧状。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的