[实用新型]用于高温扩散炉的石英舟叉装置有效
申请号: | 201120417428.8 | 申请日: | 2011-10-27 |
公开(公告)号: | CN202282377U | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 陈锦健 | 申请(专利权)人: | 上海索日新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 马家骏 |
地址: | 201501 上海市金*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 高温 扩散 石英 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种石英舟叉装置,特别涉及一种用于晶体硅太阳能电池生产的高温扩散炉的石英舟叉装置。
背景技术
高温扩散炉是现代工业生产中常用的设备。图1为现有的高温扩散炉的石英舟的结构示意图,图2为现有的石英舟叉的结构示意图。如图1所示,石英舟是由石英材质制作;如图2所示,石英舟叉是由两部分组成,分别是一根不锈钢棒3和一个石英套管4组成。在实际生产过程,因石英舟温度属于高温,又因生产工艺要求,不能与其它材质物体相接处,防止对石英舟造成污染,必须由相匹配的石英舟叉完成。
但是,现有的石英舟叉设计存在缺陷,在使用过程中,必须要外面向上抬起15度以上,已防止在搬运行走的过程滑落,所以里面下横梁承受的力比较大;在使用时每次抬起的角度不同,依据质量原理,每次受的重量位置不同,就会经常发生隐裂或断裂,直接造成晶体硅电池片1和石英舟的损坏。
因此,特别需要一种用于高温扩散炉的石英舟叉装置,已解决上述现有存在的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于高温扩散炉的石英舟叉装置,针对现有技术的不足,能在生产过程中降低事故报废,减少成本,提高产值,增加利润,节约资源。
本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
一种用于高温扩散炉的石英舟叉装置,其特征在于,它包括一不锈钢棒及设置在所述不锈钢棒后端的石英套管,所述不锈钢棒的前端设置有一可在垂直方向上旋转的活动挡块,所述活动挡块套装在所述不锈钢棒前端。
在本实用新型的一个实施例中,所述活动挡块呈U型,在所述活动挡块的侧面设置有通孔,在所述不锈钢棒的侧面对应于所述通孔的位置设置有旋转轴。
在本实用新型的一个实施例中,所述活动挡块的前端呈圆弧状。
本实用新型的用于高温扩散炉的石英舟叉装置,与现有技术相比,在使用过程中,可以水平端起石英舟,使石英舟横梁受力均匀,延长使用寿命;当发现某个横梁有断裂或隐裂时,可进行随意倾斜,让其不受重力,减少晶体硅太阳能电池片的损坏;能使在生产过程中降低事故报废、减少成本,提高产值,增加利润,节约资源,实现本实用新型的目的。
本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
附图说明
图1是现有的高温扩散炉的石英舟的结构示意图;
图2是现有的石英舟叉的结构示意图;
图3是本实用新型的用于高温扩散炉的石英舟叉装置的结构示意图;
图4是本实用新型的活动挡块的结构示意图;
图5是本实用新型的活动挡块的俯视图;
图6是本实用新型的石英舟叉装置另一状态的结构示意图;
图7是本实用新型的石英舟叉装置与石英舟结合的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。
如图3和图6所示,本实用新型的用于高温扩散炉的石英舟叉装置,它包括一不锈钢棒100及设置在所述不锈钢棒100后端的石英套管200,所述不锈钢棒100的前端设置有一可在垂直方向上旋转的活动挡块300,所述活动挡块300套装在所述不锈钢棒100前端。
其中,活动挡块300设置为公头,不锈钢棒100的前端设置为母头进行装配。
如图4和图5所示,在本实用新型中,所述活动挡块300呈U型,在所述活动挡块300的侧面设置有通孔310,在所述不锈钢棒100的侧面对应于所述通孔310的位置设置有旋转轴110。
在本实用新型中,所述活动挡块300的前端呈圆弧状。
如图7所示,石英舟2是由石英材质制作。在使用过程中,可以水平端起石英舟2,使石英舟2横梁受力均匀,延长使用寿命;当发现某个横梁有断裂或隐裂时,可进行随意倾斜,让其不受重力,减少晶体硅太阳能电池片1的损坏;能在生产过程中降低事故报废、减少成本,提高产值,增加利润,节约资源。
工作时,用本实用新型的石英舟叉通过石英舟2的受力孔21时,前端活动挡块300由重力影响会滑落,形成90度,当端起时形成可阻挡石英舟滑落;在结束后,当人为本能会反应给石英套管200一个向后抽拉力时,活动挡块300就会随着不锈钢棒100行走,与不锈钢棒100处于水平,便可退出,动作结束。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内,本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的