[实用新型]微蚀刻液再生回收系统

权利要求书

1.一种微蚀刻液再生回收系统，包括：电解槽(1)，所述电解槽(1)内相间地设置有阳极板(11)和阴极板(12)，其特征在于，

所述电解槽(1)的一侧依次设置有循环槽(2)和预处理槽(3)，所述循环槽(2)与所述电解槽(1)之间通过管道连通，所述循环槽(2)与所述电解槽(1)之间设置有第一抽送泵(7)，所述电解槽(1)与所述循环槽(2)之间通过一个侧壁隔开，且所述侧壁上开设有溢流口(13)；

所述预处理槽(3)与所述循环槽(2)之间通过管道连通，所述预处理槽(3)与所述循环槽(2)之间设置有第二抽送泵(71)。

2.根据权利要求1所述的微蚀刻液再生回收系统，其特征在于，

所述阳极板(11)为网状结构的钛涂层阳极板，所述阴极板(12)为三维网状结构的阴极始极板。

3.根据权利要求2所述的微蚀刻液再生回收系统，其特征在于，

所述电解槽(1)的第一槽壁上设置有多块所述阳极板(11)，在与所述第一槽壁相对的第二槽壁上设置有多块所述阴极板(12)，所述阳极板(11)与所述阴极板(12)依次间隔而交错地设置，所述阳极板(11)的自由端位于相邻的两块所述阴极板(12)之间的区域，所述阴极板(12)的自由端位于相邻的两块所述阳极板(11)之间的区域。

4.根据权利要求3所述的微蚀刻液再生回收系统，其特征在于，

所述再生回收系统还包括再生液槽(4)和微蚀刻液槽(5)，所述再生液槽(4)与所述电解槽(1)之间通过管道连通，所述再生液槽(4)与所述电解槽(1)之间设置有第三抽送泵(72)；

所述再生液槽(4)与所述微蚀刻液槽(5)之间通过管道连通，所述再生液槽(4)与所述微蚀刻液槽(5)之间设置有第四抽送泵(73)。

5.根据权利要求4所述的微蚀刻液再生回收系统，其特征在于，

所述再生回收系统还包括自动添加槽(8)，所述自动添加槽(8)具有多个间隔设置的盛放槽，所述盛放槽内分别盛放不同的添加剂，所述盛放槽包括第一盛放槽(81)和第二盛放槽(82)，所述第一盛放槽(81)和所述第二盛放槽(82)分别与所述微蚀刻液槽(5)通过管道连通，所述第一盛放槽(81)与所述微蚀刻液槽(5)之间设置有第五抽送泵(74)，所述第二盛放槽(82)与所述微蚀刻液槽(5)之间设置有第六抽送泵(75)。

6.根据权利要求5所述的微蚀刻液再生回收系统，其特征在于，

所述再生回收系统还包括废液储液槽(6)，所述废液储液槽(6)分别与所述预处理槽(3)及所述微蚀刻液槽(5)通过管道连通，所述废液储液槽(6)与所述预处理槽(3)之间设置有第七抽送泵(76)，所述废液储液槽(6)与所述微蚀刻液槽(5)之间设置有第八抽送泵(77)。

7.根据权利要求6所述的微蚀刻液再生回收系统，其特征在于，

所述再生回收系统还包括PLC控制单元(9)，所述PLC控制单元(9)分别与所述第一抽送泵(7)、所述第二抽送泵(71)、所述第三抽送泵(72)、所述第四抽送泵(73)、所述第五抽送泵(74)、所述第六抽送泵(75)、所述第七抽送泵(76)以及所述第八抽送泵(77)电连接。