[实用新型]真空设备的输送装置及其转动单元

权利要求书

1.一种真空设备的输送装置，该真空设备包含一个界定出一个作业空间的真空腔体，该真空腔体具有两个位于该作业空间的两相对侧的侧壁，输送装置是两个相对地安装在所述侧壁，且用于输送一片基板沿着侧壁的长向进出该作业空间，该基板具有两个相反且分别邻近于所述侧壁的侧边，而该输送装置包含一个转动机构，该转动机构包括数个彼此间隔地安装在该侧壁的转动单元，每一转动单元都具有一个固定安装于该侧壁的壳座、一个安装在该壳座中且可被驱动而绕着一条垂直于该侧边的轴线转动的转轴，及一个被该转轴带动旋转的第一滚轮；其特征在于：该输送装置还包含一个位于所对应侧壁与基板的侧边间且供第一滚轮安装的连架，及至少一个安装在该侧壁与该连架间且可带动该连架相对于该侧壁移动的移动机构。

2.根据权利要求1所述的真空设备的输送装置，其特征在于：每一转动单元还具有一个可转动地安装于该连架内且衔接该第一滚轮与该转轴的转接座，及一支径向安装在该转轴上的凸杆，该转接座具有一个突伸出该连架邻近该基板的一侧且供该第一滚轮安装的接轮部，及一个突伸出该连架邻近该侧壁的一侧且供该转轴安装的接轴部，该接轴部界定出一个开口朝向该侧壁且供该转轴置入的容槽，及一个由该容槽径向往外连通且供该凸杆于其中滑移的滑槽。

3.根据权利要求1所述的真空设备的输送装置，其特征在于：该移动机构包括一个安装在该侧壁的移动器、一个安装在该连架且被该移动器驱动的连杆，及一个可转动地安装在该连杆突伸出连架邻近该基板的一侧的第二滚轮。

4.根据权利要求1、2或3所述的真空设备的输送装置，其特征在于：该输送装置还包含一个随动机构，该随动机构包括数个彼此间隔地安装在该侧壁与该连架间的随动单元，每一随动单元都具有一个可转动地设置在该连架邻近该基板的一侧的第三滚轮。

5.根据权利要求4所述的真空设备的输送装置，其特征在于：每一随动单元还具有一个安装在该侧壁的固定座，及一个安装在该连架且可相对于该固定座移动的移动杆，该第三滚轮是可转动地安装在该移动杆突伸出连架邻近该基板的一侧。

6.根据权利要求1所述的真空设备的输送装置，其特征在于：该转动机构还包括一个驱动所述转动单元同步转动的驱动单元。

7.根据权利要求6所述的真空设备的输送装置，其特征在于：该驱动单元具有一个驱动所述转动单元所对应的其中一转轴的驱动器，及数条分别连接每两相邻转轴的皮带。

8.根据权利要求2所述的真空设备的输送装置，其特征在于：该凸杆为一支螺接安装在该转轴上的螺丝。

9.一种输送装置的转动单元，具有一个被固定安装的壳座、一个可转动地安装在该壳座中的转轴，及一个被该转轴带动旋转的第一滚轮，其特征在于：该转动单元还具有一支径向安装在该转轴上的凸杆，及一个可被带动轴向移动且套置在该转轴外围的转接座，该转接座具有一个供该第一滚轮安装的接轮部，及一个供该转轴安装的接轴部，该接轴部界定出一个供该转轴置入的容槽，及一个由该容槽径向往外连通且供该凸杆于其中滑移的滑槽。