[实用新型]真空设备的输送装置及其转动单元

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种输送装置，特别是涉及一种安装在真空设备中用于载送基板的真空设备的输送装置及其转动单元。

背景技术

在溅镀制程中，需将一片基板载送至一个真空设备中，进行如加热、镀膜、加热改质等各项加工处理，而后再将该基板送出该真空设备，以进行后续制程。有关该基板进出该真空设备的输送技术，大都是利用两个左右对称且分别具有数个滚轮的输送装置，可滚动地接触该基板的左右两侧，借以将该基板输入或输出。

然而，由于该真空设备的输送装置是固定安装在一个真空腔体的左右两侧，所以两侧滚轮间的距离固定不变，只能用来载送尺寸对应的基板，如果基板尺寸较小或过大时，则须另外换装尺寸对应的输送装置，所以各输送装置的适用范围小，不但必须备置较多尺寸的输送装置，造成设备成本居高不下的问题，且其使用上也相当不便。此外，为了因应其他加工作业的需求，有时该基板必须暂时离开输送装置，并被其他载具移送至其他位置进行其他制程，此时无法相对移动避开的输送装置，就会对该基板的移送造成不便，如此一来势必会影响到整个溅镀制程的效率。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能调整移位以供输送不同尺寸基板的真空设备的输送装置及其转动单元。

本实用新型的另一目的在于提供一种可相对于基板移位以有助于基板转换制程，从而能增进作业上的自由度与适用性的真空设备的输送装置及其转动单元。

本实用新型真空设备的输送装置，该真空设备包含一个界定出一个作业空间的真空腔体，该真空腔体具有两个位于该作业空间的两相对侧的侧壁，而输送装置是两个相对地安装在所述侧壁，且用于输送一片基板沿着侧壁的长向进出该作业空间，该基板具有两个相反且分别邻近于所述侧壁的侧边，而该输送装置包含一个转动机构，该转动机构包括数个彼此间隔地安装在该侧壁的转动单元，每一转动单元都具有一个固定安装于该侧壁的壳座、一个安装在该壳座中且可被驱动而绕着一条垂直于该侧边的轴线转动的转轴，及一个被该转轴带动旋转的第一滚轮；该输送装置还包含一个位在所对应侧壁与基板的侧边间且供第一滚轮安装的连架，及至少一个安装在该侧壁与该连架间且可带动该连架相对于该侧壁移动的移动机构。

本实用新型所述真空设备的输送装置，每一转动单元还具有一个可转动地安装于该连架内且衔接该第一滚轮与该转轴的转接座，及一支径向安装在该转轴上的凸杆，该转接座具有一个突伸出该连架邻近该基板的一侧且供该第一滚轮安装的接轮部，及一个突伸出该连架邻近该侧壁的一侧且供该转轴安装的接轴部，该接轴部界定出一个开口朝向该侧壁且供该转轴置入的容槽，及一个由该容槽径向往外连通且供该凸杆于其中滑移的滑槽。

本实用新型所述真空设备的输送装置，该移动机构包括一个安装在该侧壁的移动器、一个安装在该连架且被该移动器驱动的连杆，及一个可转动地安装在该连杆突伸出连架邻近该基板的一侧的第二滚轮。

本实用新型所述真空设备的输送装置，该输送装置还包含一个随动机构，该随动机构包括数个彼此间隔地安装在该侧壁与该连架间的随动单元，每一随动单元都具有一个可转动地设置在该连架邻近该基板的一侧的第三滚轮。

本实用新型所述真空设备的输送装置，每一随动单元还具有一个安装在该侧壁的固定座，及一个安装在该连架且可相对于该固定座移动的移动杆，该第三滚轮是可转动地安装在该移动杆突伸出连架邻近该基板的一侧。

本实用新型所述真空设备的输送装置，该转动机构还包括一个驱动所述转动单元同步转动的驱动单元。

本实用新型所述真空设备的输送装置，该驱动单元具有一个驱动所述转动单元所对应的其中一转轴的驱动器，及数条分别连接每两相邻转轴的皮带。

本实用新型所述真空设备的输送装置，该凸杆为一支螺接安装在该转轴上的螺丝。

本实用新型输送装置的转动单元，具有一个被固定安装的壳座、一个可转动地安装在该壳座中的转轴，及一个被该转轴带动旋转的第一滚轮，该转动单元还具有一支径向安装在该转轴上的凸杆，及一个可被带动轴向移动且套置在该转轴外围的转接座，该转接座具有一个供该第一滚轮安装的接轮部，及一个供该转轴安装的接轴部，该接轴部界定出一个供该转轴置入的容槽，及一个由该容槽径向往外连通且供该凸杆于其中滑移的滑槽。

本实用新型的有益效果在于：该输送装置的第一滚轮可被驱动旋转以输送基板，而且第一滚轮还可被驱动而沿着轴线相对于壳座调整移位，用于输送不同尺寸的基板，并可搭配其他制程使用，所以能扩大适用范围。

附图说明