[实用新型]用于多级干式真空泵的气路分配系统

权利要求书

1.一种用于多级干式真空泵的气路分配系统，其特征在于：包括集成模块(1)、孔板(4)、销(5)及压力传感器(9)，其中集成模块(1)内分别开有进气通道(10)及出气通道(8)，进气通道(10)与出气通道(8)通过位于两者之间的孔板(4)相连通；所述出气通道(8)内插设有可转动的销(5)，销(5)位于出气通道(8)内的部分开有多个通孔(7)；所述集成模块(1)的进气端及出气端分别设有与进气通道(10)连通的进气口(2)及与出气通道(8)连通的出气口(3)，所述压力传感器(9)分别安装在集成模块(1)的进气端及出气端，分别测量所述孔板(4)两侧的气体流量。

2.按权利要求1所述用于多级干式真空泵的气路分配系统，其特征在于：所述集成模块(1)出气端的出气口(3)为多个，销(5)上的通孔(7)沿轴向设有多排，每排通孔对应一个出气口(3)。

3.按权利要求1或2所述用于多级干式真空泵的气路分配系统，其特征在于：所述出气通道(8)为集成模块(1)上开设的盲孔，出气通道(8)的开口端位于集成模块(1)的一侧壁上，另一端通过孔板(4)与进气通道(10)相连通。

4.按权利要求1或2所述用于多级干式真空泵的气路分配系统，其特征在于：所述销(5)的内部开有与出气通道(8)连通的盲孔，销(5)的一端为所述盲孔的开口端、位于出气通道(8)内，另一端与集成模块(1)密封连接；所述销(5)上的通孔(7)均开设在与所述盲孔对应的管壁上。

5.按权利要求4所述用于多级干式真空泵的气路分配系统，其特征在于：所述销(5)与出气通道(8)过渡配合。

6.按权利要求1或2所述用于多级干式真空泵的气路分配系统，其特征在于：所述进气通道(10)的径向截面为圆形，一端通过孔板(4)与出气通道(8)连通，另一端为封闭端。

7.按权利要求1或2所述用于多级干式真空泵的气路分配系统，其特征在于：所述孔板(4)的孔径分别小于进气通道(10)及出气通道(8)的直径。