[实用新型]用于多级干式真空泵的气路分配系统

说明书

技术领域

本实用新型属于真空泵领域，具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路分配系统。

背景技术

向多级干式真空泵内通入干燥气体，有利于真空泵级间可凝性气体的排出，也有利于被抽取的粉尘介质的排出，不在泵内死角残留和堆积。

目前多级干式真空泵的气路系统，多数由质量流量计或浮子流量计测量流量，并且气路的多路输出只能按唯一的流量比例，不能改变。这样的气路系统占用空间大，并且流量输出比例不能变化，如果使用浮子流量计，其流量显示数值只能通过观察得出，不能进行数据采集，如果多级干式真空泵使用的场合需要调整流量数值，只能更换气路系统。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于多级干式真空泵的气路分配系统。该气路分配系统可以实现气体流量的检测，出气端气体能够以不同流量比例输出。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

本实用新型包括集成模块、孔板、销及压力传感器，其中集成模块内分别开有进气通道及出气通道，进气通道与出气通道通过位于两者之间的孔板相连通；所述出气通道内插设有可转动的销，销位于出气通道内的部分开有多个通孔；所述集成模块的进气端及出气端分别设有与进气通道连通的进气口及与出气通道连通的出气口，所述压力传感器分别安装在集成模块的进气端及出气端，分别测量所述孔板两侧的气体流量。

其中：所述集成模块出气端的出气口为多个，销上的通孔沿轴向设有多排，每排通孔对应一个出气口；所述出气通道为集成模块上开设的盲孔，出气通道的开口端位于集成模块的一侧壁上，另一端通过孔板与进气通道相连通；所述销的内部开有与出气通道连通的盲孔，销的一端为所述盲孔的开口端、位于出气通道内，另一端与集成模块密封连接；所述销上的通孔均开设在与所述盲孔对应的管壁上；所述销与出气通道过渡配合；所述进气通道的径向截面为圆形，一端通过孔板与出气通道连通，另一端为封闭端；所述孔板的孔径分别小于进气通道及出气通道的直径。

本实用新型的优点与积极效果为：

1.本实用新型通过销的旋转，以不同孔径的通孔与出气口对接，不用更换气路即可实现各输出管路间不同流量比例的气体输出。

2.本实用新型采用压力传感器测量流经孔板两侧的气体压力，直接进行数据采集，便于观察。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1中的A-A剖视图；

其中：1为集成模块，2为进气口，3为出气口，4为孔板，5为销，6为密封胶圈，7为通孔，8为出气通道，9为压力传感器，10为进气通道。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

如图1、图2所示，本实用新型包括集成模块1、孔板4、销5及压力传感器9，其中集成模块1为块状(本实施例为长方体)，集成模块1的一端为进气端，另一端为出气端；在集成模块1的内部分别开有进气通道10及出气通道8，在进气通道10与出气通道8之间设有孔板4，该孔板4的孔径分别小于进气通道10与出气通道8的直径，进气通道10与出气通道8通过位于两者之间的孔板4相连通；进气通道10及出气通道8的径向截面均为圆形，进气通道10的一端通过孔板4与出气通道8的一端相连通，进气通道10的另一端为封闭端；出气通道8为集成模块1上开设的盲孔，出气通道8的开口端位于集成模块1的一侧壁上，另一端通过孔板4与进气通道10相连通。

在出气通道8内插设有可转动的销5，销5与出气通道8过渡配合。销5的内部开有与出气通道8连通的盲孔，销5的一端为所述盲孔的开口端、位于出气通道8内、靠近所述出气通道8的另一端，销5的另一端与集成模块1的侧壁抵接，且通过密封胶圈6与出气通道8的内壁密封连接。销5内部盲孔的管壁上开有多个通孔7，通孔7的设置为沿轴向采用等分的方式设置多排，每一排圆周均布。集成模块1的进气端设有与进气通道10连通的进气口2，本实施例的进气口2为一个；集成模块1的出气端设有与出气通道8连通的出气口3，出气口3可为多个，每个一出气口3均对应销5上的一排通孔，出气口3通过通孔与销5内部的盲孔相连通；通孔的大小根据要求设定。在集成模块1的进气端及出气端分别安装有压力传感器9，两个压力传感器9分别位于孔板4的两侧，使用压差式方法测量孔板4两侧的气体压力，可计算得出流经的气体流量。

本实用新型的工作原理为：

气体由进气口2进入到进气通道10内，经孔板4流到出气通道8内，再经过销5上的通孔7由各出气口3排出。在排气的过程中，旋转销5，不同孔径的通孔7会与各出气口3相接，实现各输出管路间不同流量比例的气体输出。