[实用新型]一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器有效
| 申请号： | 201120447127.X | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN202334945U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 张振厚;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;徐宝利;钟福强;陆涛;许新;王刚;刘兴;郭玉飞;王学敏;李松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/20 | 分类号： | H05B3/20;H01L21/205 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶体 太阳能 pecvd 装备 多区控温 平板 加热器 | ||
1.一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器，其特征在于：包括至少一个加热平板(1)，在该加热平板(1)上至少设有一个辐射加热线圈，在所述辐射加热线圈对应的加热温区上连接有控制该加热温区温度的温控表。
2.按权利要求1所述用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器，其特征在于：所述辐射加热线圈镶嵌于加热平板(1)中，在加热平板(1)上覆盖有金属板(2)。
3.按权利要求1或2所述用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器，其特征在于：所述加热平板(1)上分别设有第一辐射加热线圈(6)、第二辐射加热线圈(7)及第三辐射加热线圈(8)，第一辐射加热线圈(6)、第二辐射加热线圈(7)及第三辐射加热线圈(8)分别对应第一温区(3)、第二温区(4)及第三温区(5)，第一温区(3)的温度通过与第一辐射加热线圈(6)连接的温控表控制，第三温区(5)的温度通过与第三辐射加热线圈(8)连接的温控表控制，第二温区(4)的温度通过设置在所述加热平板(1)一侧的温控表控制。
4.按权利要求3所述用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器，其特征在于：所述第二辐射加热线圈(7)位于加热平板(1)的中间，第一辐射加热线圈(6)及第三辐射加热线圈(8)分别位于第二辐射加热线圈(7)的上方和下方。
5.按权利要求3所述用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器，其特征在于：所述加热平板(1)为多个，各加热平板上的第二辐射加热线圈(7)依次串联，对应的第二温区(4)通过一个温控表控制温度。
6.按权利要求5所述用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器，其特征在于：各加热平板上的第一辐射加热线圈并排排列，均位于各加热平板上第二辐射加热线圈的上方；各加热平板上的第三辐射加热线圈并排排列，均位于各加热平板上第二辐射加热线圈的下方。
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