[实用新型]AZO镀膜线基片承载车有效
| 申请号： | 201120452307.7 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN202323001U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 徐峰;孙树来;张彦清;王建军;张学星;牛星月;李占涛;李东岳 | 申请（专利权）人： | 承德新新机电设备制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 宋松 |
| 地址： | 067400 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | azo 镀膜 线基片 承载 | ||
【权利要求书】：
1.一种AZO镀膜线基片承载车，包括工件架底座和安装于工件架底座上的基片固定框，其特征在于：所述工件架底座与基片固定框连接处设置有绝缘层，所述基片固定框内横向设置有横撑，其内壁一侧安装有挡板，且基片固定框的横梁上安装有基片锁紧件，其底架上安装有基片支撑件。
2.根据权利要求1所述的AZO镀膜线基片承载车，其特征在于：所述基片固定框为不锈钢方管。
3.根据权利要求1所述的AZO镀膜线基片承载车，其特征在于：所述横撑上连接有用于固定横撑的螺栓，所述基片固定框上设置有若干个上下排列的与所述螺栓相配合的螺纹孔。
4.根据权利要求1所述的AZO镀膜线基片承载车，其特征在于：所述绝缘层为聚四氟乙烯垫。
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