[实用新型]AZO镀膜线基片承载车有效
申请号: | 201120452307.7 | 申请日: | 2011-11-15 |
公开(公告)号: | CN202323001U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 徐峰;孙树来;张彦清;王建军;张学星;牛星月;李占涛;李东岳 | 申请(专利权)人: | 承德新新机电设备制造有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/06 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 宋松 |
地址: | 067400 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | azo 镀膜 线基片 承载 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种AZO镀膜线,尤其涉及一种AZO镀膜线基片承载车。
背景技术
AZO导电膜是一种新的导电膜,由于其性能优越,使用范围日益扩大,尤其是在光伏电池领域方面,而在AZO镀膜生产线中,基片承载车是不可缺少的工艺装备,其用于装载基片,以使基片能够连续运行,完成一系列工艺镀膜过程。然而,传统的基片承载车电绝缘性差,且基片装卸不便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种AZO镀膜线基片承载车,以解决传统的基片承载车电绝缘性差,基片装卸不便的问题。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现:
一种AZO镀膜线基片承载车,包括工件架底座和安装于工件架底座上的基片固定框,所述工件架底座与基片固定框连接处设置有绝缘层,所述基片固定框内横向设置有横撑,其内壁一侧安装有挡板,且基片固定框的横梁上安装有基片锁紧件,其底架上安装有基片支撑件。
特别的,所述基片固定框为不锈钢方管。
特别的,所述横撑上连接有用于固定横撑的螺栓,所述基片固定框上设置有若干个上下排列的与所述螺栓相配合的螺纹孔。
特别的,所述绝缘层为聚四氟乙烯垫。
本实用新型的有益效果为,所述AZO镀膜线基片承载车通过增加绝缘层,达到基片固定框与工件架底座间电绝缘的目的,且通过采用基片支撑件和基片锁紧件固定基片,基片装卸方便,此外,基片固定框上横向设置的横撑可以根据基片尺寸大小调整位置,不仅结构简单,易于实现,且操作方便,安全可靠。
附图说明
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
图1为本实用新型AZO镀膜线基片承载车的结构示意图;
图2为本实用新型AZO镀膜线基片承载车的左视图;
图3为图1所示的AZO镀膜线基片承载车在A-A处的剖面图。
图中:
1、工件架底座;2、基片固定框;3、横撑;4、挡板;5、基片锁紧件;6、横梁;7、基片支撑件;8、底架;9、绝缘层。
具体实施方式
如图1至3所示,于本实施例中,一种AZO镀膜线基片承载车,包括工件架底座1和安装于工件架底座1上的基片固定框2,所述工件架底座1与基片固定框2连接处设置有绝缘层9,所述基片固定框2内横向设置有横撑3,其内壁一侧安装有挡板4,且基片固定框2的横梁6上安装有基片锁紧件5,其底架8上安装有基片支撑件7。
特别的,所述基片固定框2为不锈钢方管。
特别的,所述横撑3上连接有用于固定横撑3的螺栓,所述基片固定框2上设置有若干个上下排列的与所述螺栓相配合的螺纹孔,横撑3可根据基片尺寸自由调整位置。
特别的,所述绝缘层9为聚四氟乙烯垫,以达到基片固定框2与工件架底座1间电绝缘的目的。
上述AZO镀膜线基片承载车的工件架底座1由低膨胀系数的钢材制成,并经充分去应力处理,以保证在工艺温度为300℃时的尺寸稳定性,基片固定框2内侧安装的挡板4用于防止镀膜过程中基片背面的绕射,不仅结构简单,易于实现,且运行平稳可靠,操作方便,电绝缘性好。
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