[实用新型]钻石晶圆抛光机加力装置有效
| 申请号： | 201120484625.1 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN202399110U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 苑执中;温峰城;廖治国 | 申请（专利权）人： | 台钻科技（郑州）有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/16 | 分类号： | B24B9/16 |
| 代理公司： | 郑州大通专利商标代理有限公司 41111 | 代理人： | 陈大通 |
| 地址： | 450016 河南省郑州市郑州经济*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钻石 抛光机 加力 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种钻石晶圆抛光机加力装置，其特征是：包括一个套管式的外壳，该外壳内腔设置有台阶面，台阶面上侧为轴向螺纹孔，台阶面下侧为轴向通孔，所述轴向螺纹孔中安装有调节螺杆，轴向通孔内套装有弹簧，弹簧下端连接活动杆，该活动杆的一部分套装于轴向通孔中并能轴向滑动，活动杆下端与主轴滑动配合。
2.根据权利要求1所述的钻石晶圆抛光机加力装置，其特征是：调节螺杆与弹簧之间设置有垫片。
3.根据权利要求1所述的钻石晶圆抛光机加力装置，其特征是：弹簧与活动杆之间设置有垫片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台钻科技（郑州）有限公司，未经台钻科技（郑州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120484625.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
