[实用新型]钻石晶圆抛光机加力装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及钻石晶圆抛光机改进技术，具体涉及一种钻石晶圆抛光机加力装置。

背景技术：

对钻石晶圆加工利用中使用的抛光机，其根据磨削量，主轴在高速旋转的同时还要沿轴向磨盘一个推力，以确保磨削力度和磨削补偿。同时，还要考虑加力的大小，满足对不同钻石进行不同程度的加力要求。现有的钻石晶圆抛光机主轴虽然采用了弹性加力装置，但是还存在对所加力的力度调整问题。

实用新型内容：

本实用新型针对目前现有状况存在的问题和不足，提出一种钻石晶圆抛光机加力装置。

本实用新型所采用的技术方案：一种钻石晶圆抛光机加力装置，包括一个套管式的外壳，该外壳内腔设置有台阶面，台阶面上侧为轴向螺纹孔，台阶面下侧为轴向通孔，所述轴向螺纹孔中安装有调节螺杆，轴向通孔内套装有弹簧，弹簧下端连接活动杆，该活动杆的一部分套装于轴向通孔中并能轴向滑动，活动杆下端与主轴滑动配合。 

调节螺杆与弹簧之间可以设置垫片。 

弹簧与活动杆之间可以设置垫片。 

本实用新型的积极效果：在活动杆与弹簧上侧设置调节螺杆，通过选择调节螺杆进行加力，其加力的大小可以随时调整，满足加工需求，其结构简单，容易制造或改造，操作简便，控制精度高，非常利于推广实施。 

附图说明：

图1是本实用新型剖面结构示意图。

图中标号1为外壳，2为调节螺杆，3为（外壳内腔的）轴向通孔，4为活动杆，5为弹簧。 

具体实施方式：

参见图1，该钻石晶圆抛光机加力装置包括一个套管式的外壳1，该外壳1内腔设置有台阶面，台阶面上侧为轴向螺纹孔，轴向螺纹孔中安装有调节螺杆。

台阶面下侧为轴向通孔3，轴向通孔3内套装有弹簧5，弹簧5下端连接活动杆4，该活动杆4的一部分套装于轴向通孔中并能轴向滑动，活动杆4下端与主轴滑动配合。同时，还可以在调节螺杆与弹簧之间设置垫片，以及在弹簧与活动杆之间设置垫片。