[实用新型]具有多组式晶圆电镀结构体的组合改良设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种具有多组式晶圆结构体的组合设备，尤指马达以连接管连接加热器、分流管、电子流量计、手动阀、电镀槽结构体、连接管及过滤器所组成设备所组装的具有多组式晶圆结构体的组合设备。

背景技术

目前，依据中国台湾专利号第I242058号所述专利「晶圆之电镀设备」，主要系电镀槽内装设一容置空间11并相连通开口与排水口13与连接注水管14并在上方以两侧夹具2夹住晶圆12，虽然电镀槽1内装设有置容空间11已经缩小电镀液的接触面，但是进行电镀液的循环作用还是电镀接触空间存在，易造成电镀液的老化及变质为其缺失。

实用新型内容

本实用新型主要目的在于提出一种具有多组式晶圆结构体的组合改良设备。

为达到上述目的，本发明具有多组式晶圆结构体的组合改良设备，系利用马达以连接管连接加热器、分流管、电子流量计、手动阀、电镀槽结构体、循环回流管及过滤器所组成的改良设备，电镀槽结构体中两侧装设有导电结构组体、夹具头、孔状分布板及注水头组合结构体所组成，其中，导电结构组体：系以孔状环状板与电解体所组成；注水头组合结构体：系由注水管连接注水头相互组成；夹具头：系装设在中央处，上述，孔状板连接数组注水头组合结构体电镀液并经过孔状分布板的孔洞喷向夹具结构组体。

其中，导电体选自阴极钛网、阴极铜网及阴极镍网。

其中，孔状环状板系呈凸体央设一圆孔在圆孔的四周分布多孔环状体，在圆孔至顶部设长方形凹体。

其中，导电体系下方为圆型体并形成电解体，而上方连接固定锁柱，装设在电镀槽结构体的两侧。

其中，孔状环状板与导电体相互以锁孔锁住。

其中，孔状板整体呈方形由孔洞至孔洞之间以方形状分布由内向外形成多孔方形体。

其中，孔状分布板连接注水头组以注水导管导电镀液经过注水头流向导电体，以便夹具头内晶圆进行电镀加工。

其中，电镀槽结构体的中央装设夹具头，而底部装设一循环回收管连接一马达，再以连接管连接加热器、分流管、电子流量计、手动阀经过数根注水管及注水头。

采用上述结构，当晶圆在电镀槽结构体内进行电镀加工可以提高作业的效率及结省工时。

附图说明

图1为本实用新型的具有多组式晶圆结构体的组合设备的侧视剖面图。

图2(A)为本实用新型的导电结构组体11的放大图。

图2(B)为本实用新型的导电结构组体12的放大图。

图3为本实用新型的具有多组式晶圆结构体的组合设备的俯视图。

图4(A)，(B)，(C)为本实用新型的导电结构组体分解结合立体图。

图5为本实用新型的导电体的剖面图。

图6为本实用新型的导电结构组体剖面图之一。

图7为本实用新型的导电结构组体剖面图之二。

图8为本实用新型的孔状分布板示意图。

图9为本实用新型的导电结构组体装设在电镀槽结构体示意图。

图10为本实用新型的夹具头装设在电镀槽结构体内的剖面图。

图11为本实用新型的孔状分布板与注水头组15，16相互结合示意图。

图12为本实用新型的实施例图。

具体实施方式

本实用新型为一种具有多组式晶圆电镀结构体的组合设备，请参阅图11所示，主要系利用马达M以连接管a连接加热器C、分流管D1、电子流量计D11、手动阀D12、电镀槽结构体A1、循环回流管c及过滤器B所组成的改良设备，而电镀槽结构体A1以连接管d连接分流管D2、电子流量计D21、手动阀D22及电镀槽结构体A2作为串联的组合。

请参阅图1所示电镀槽结构体A1的剖面图，其中两侧装设有导电结构组体11，12、孔状分布板13，14及注水头组合结构体15，16所组成，其中导电结构组体11，12系以孔状环状板111，121与导电体112，122所组成，两导电结构组体11，12之间装设有夹具头H1，其夹具头H1内夹住晶圆F1，F2，而注水头组合结构体15，16系由注水管151’-160’，161’-170’连接注水头151-160，161-170所组成如图1，2，3，10所示。