[实用新型]薄膜太阳能电池的真空制膜设备

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池的真空制膜设备，包含一个转移腔体，以及数个连接该转移腔体的沉积单元；其特征在于：

每个沉积单元具有数个上下层迭排列的单片型的单层沉积腔体，每个单层沉积腔体可与该转移腔体相连通。

2.根据权利要求1所述薄膜太阳能电池的真空制膜设备，其特征在于：该太阳能电池的真空制膜设备还包含一个进料腔体、一个连接设置在该进料腔体与该转移腔体间的预热腔体，以及一个连接该转移腔体的出料腔体，该预热腔体可与该进料腔体相连通，也可与该转移腔体相连通，该出料腔体可与该转移腔体相连通。

3.根据权利要求2所述薄膜太阳能电池的真空制膜设备，其特征在于：该太阳能电池的真空制膜设备还包含一个阀门单元，该阀门单元具有数个分别设置在所述单层沉积腔体与该转移腔体间的第一阀门、一个设置在该出料腔体与该转移腔体间的第二阀门、一个设置在该预热腔体与该转移腔体间的第三阀门、一个设置在该进料腔体与该预热腔体间的第四阀门、一个设置在该进料腔体的远离该预热腔体的一侧的第五阀门，以及一个设置在该出料腔体的远离该转移腔体的一侧的第六阀门。

4.根据权利要求1至3中任一所述薄膜太阳能电池的真空制膜设备，其特征在于：该太阳能电池的真空制膜设备还包含一个设置在该转移腔体中的载送单元，该载送单元具有二条相平行地设置在该转移腔体中的导轨，以及一个能相对移动地与该导轨结合的载具。