[实用新型]离子束孔径调整装置

权利要求书

1.一种离子束孔径调整装置，包括两块调整块，所述调整块之间设有用于调整两块调整块之间缝隙大小的调节部件，其特征在于，还包括两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应。

2.根据权利要求1所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述可拆卸块与所述调整块之间通过螺钉连接。

3.根据权利要求2所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述凹口包括一矩形孔和一矩形凹槽，所述矩形孔和所述矩形凹槽相连接，所述矩形凹槽设于所述调整块的背面，所述可拆卸块包括一矩形块和一矩形凸块，所述矩形块和所述矩形凸块相连接，所述矩形凸块设置于所述可拆卸块的背面，所述矩形块与所述矩形孔相对应，所述矩形凸块和所述矩形凹槽相对应，所述矩形凹槽的槽底和所述矩形凸块上对应开设供所述螺钉穿越的螺纹孔。

4.根据权利要求3所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述可拆卸块与所述调整块之间通过两根螺钉连接。

5.根据权利要求1所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述调整部件是螺栓组件。

6.根据权利要求1所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述两块调整块是石墨块。

7.根据权利要求6所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，每块所述调整块包括两层石墨层，所述两层石墨层贴合连接。

8.根据权利要求1～7中任意一项述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述凹口设置于所述两块调整块的相对侧的中部。