[实用新型]离子束孔径调整装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种离子束孔径调整装置。

背景技术

目前，在半导体生产工艺中，经常使用离子束进行离子注入工艺。一般使用离子束孔径调整装置来对离子束进行调整。请参阅图1，图1所示是现有的离子束孔径调整装置的结构示意图，由图1可见，现有的离子束孔径调整装置包括两块调整块110，所述调整块110之间通过调节部件120活动连接。通过调整调节部件120，可以调整所述两块调整块110之间的缝隙大小即两者之间的距离，从而可以调整离子束的穿越孔径，进而调整离子束的大小。

使用中发现，经过一段时间后，所述两块调整块上离子束入射侧会被离子束侵蚀，出现缺口现象，从而不能精确调整离子束的大小，不得不进行更换。如此，一方面，由于将两块调整块需要完全拆卸下来进行更换，造成很大的浪费，另一方面，由于拆卸连接两块调整块的调节部件，因此，费时费力。

因此，如何提供有效节约成本的离子束孔径调整装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种离子束孔径调整装置，可以只更换可拆卸块，无需更换整个调整块，可以有效降低维护成本。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种离子束孔径调整装置，包括两块调整块，所述调整块之间设有用于调整两块调整块之间缝隙大小的调节部件，还包括两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应。

优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述可拆卸块与所述调整块之间通过螺钉连接。

优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述凹口包括一矩形孔和一矩形凹槽，所述矩形孔和所述矩形凹槽相连接，所述矩形凹槽设于所述调整块的背面，所述可拆卸块包括一矩形块和一矩形凸块，所述矩形块和所述矩形凸块相连接，所述矩形凸块设置于所述可拆卸块的背面，所述矩形块与所述矩形孔相对应，所述矩形凸块和所述矩形凹槽相对应，所述矩形凹槽的槽底和所述矩形凸块上对应开设供所述螺钉穿越的螺纹孔。

优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述可拆卸块与所述调整块之间通过两根螺钉连接。

优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述调整部件是螺栓组件。

优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述两块调整块是石墨块。

优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，每块所述调整块包括两层石墨层，所述两层石墨层贴合连接。

优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述凹口设置于所述两块调整块的相对侧的中部。

本实用新型提供的离子束孔径调整装置，通过设置两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应，也就是在调整块容易被离子束侵蚀的部位设置可拆卸块，在维护时，只需更换新的可拆卸块，不需要更换整个调整块，因此可以节约大笔费用，有效降低了维护成本。

附图说明

本实用新型的离子束孔径调整装置由以下的实施例及附图给出。

图1是现有的离子束孔径调整装置的正面结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的离子束孔径调整装置的正面结构示意图；

图3是本实用新型一实施例的离子束孔径调整装置中的调整块的正面结构示意图；

图4是本实用新型一实施例的离子束孔径调整装置中的调整块的侧面结构示意图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的离子束孔径调整装置作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。