[实用新型]一种盖板、湿法刻蚀槽和湿法刻蚀设备

权利要求书

1.一种盖板，其特征在于包括：上盖板和下盖板。

2.根据权利要求1所述的盖板，其特征在于，所述上盖板和下盖板对合设置，对合设置的所述上盖板和下盖板的周边密闭，所述上盖板和下盖板之间保留预设空间。

3.根据权利要求2所述的盖板，其特征在于，所述上盖板设置有排气管口，所述排气管口连接到外部抽气装置。

4.根据权利要求3所述的盖板，其特征在于，所述下盖板上设置有通孔。

5.根据权利要求4所述的盖板，其特征在于，所述下盖板与所述上盖板相对应一侧的表面为凹凸结构，所述通孔贯穿所述凹凸结构中的凸起位置。

6.根据权利要求5所述的盖板，其特征在于，所述凹凸结构包括至少两排凸件，相邻两排凸件之间为凹槽。

7.根据权利要求1-6任一所述的盖板，其特征在于，所述通孔为圆形孔，所述圆形孔的直径在3-15mm之间。

8.一种湿法刻蚀槽，其特征在于包括权利要求1-7任一所述的盖板。

9.一种湿法刻蚀设备，其特征在于包括权利要求8所述的湿法刻蚀槽。