[实用新型]一种ZnO衬底外延结构以及含有该外延结构的ZnO衬底芯片结构有效
申请号: | 201120519482.3 | 申请日: | 2011-12-13 |
公开(公告)号: | CN202395023U | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 汪英杰;吉爱华;王凯敏 | 申请(专利权)人: | 内蒙古华延芯光科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/08 |
代理公司: | 潍坊正信专利事务所 37216 | 代理人: | 张曰俊 |
地址: | 017400 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 zno 衬底 外延 结构 以及 含有 芯片 | ||
技术领域
本实用新型涉及半导体照明技术领域,具体地说,涉及一种ZnO衬底外延结构,以及包含有该外延结构的ZnO衬底芯片结构。
背景技术
白光LED具有节能、环保、寿命长、可以工作在高速状态等诸多优点,其用途越来越广,政府正大力推广。目前,通常采用蓝光LED激发非透明的黄色荧光粉通过波长转换来制作白光LED,由于蓝光LED持续点亮会造成温度升高,波长转换材料会发生退化,蓝光芯片发出的光通过黄色荧光粉时会发生散射吸收等现象,使得出光效率不高,同时由于黄色荧光粉涂覆厚度的不均匀也会带来黄色光圈、蓝色光斑、白光色温不一致等问题,由此使得用蓝光LED激发黄色荧光粉生产的白光LED显色性差、稳定性差。
如何提高现有的白光LED的显色性能和稳定性正成为当今大家最为关心的问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:针对上述现状提供一种显色性好、稳定性好的ZnO衬底外延结构以及包含有该外延结构的ZnO衬底芯片结构。
为解决上述关于ZnO衬底外延结构的技术问题,本实用新型的技术方案是:一种ZnO衬底外延结构,包括外延片,所述外延片包括从下至上依次设置的ZnO衬底、GaN过渡层、第一N-GaN接触层、In0.2Ga0.8N/GaN多量子阱发光层、第一P-GaN接触层、N-GaN级联层、第二N-GaN接触层、In0.49Ga0.51N/GaN多量子阱发光层和第二P-GaN接触层。
作为优选,所述ZnO衬底的厚度为50~200um。
作为优选,所述GaN过渡层的厚度为10~100nm。
作为优选,所述第一N-GaN接触层、第二N-GaN接触层的厚度均为200~1000nm。
作为优选,所述In0.2Ga0.8N/GaN多量子阱发光层的厚度为1000~10000nm。
作为优选,所述第一P-GaN接触层、第二P-GaN接触层的厚度均为80~600nm。
作为优选,所述N-GaN级联层的厚度为100~1000nm。
作为优选,所述In0.49Ga0.51N/GaN多量子阱发光层的厚度为1000~10000nm。
为解决上述关于ZnO衬底芯片结构的技术问题,本实用新型的技术方案是:一种ZnO衬底芯片结构,包括以上所述的外延片;在所述外延片的第二P-GaN接触层上设置有P电极,在第一N-GaN接触层上设置有N电极。
由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:由于本实用新型的ZnO衬底外延结构是在同一块ZnO衬底上分别生长同时掺杂Si和Zn的In0.2Ga0.8N/GaN多量子阱发光层和In0.49Ga0.51N/GaN多量子阱发光层来得到白光。在500~560nm之间,可以得到宽带波长的施主-受主对,Si和Zn会发生施主-受主对相关的宽带辐射,而InGaN多量子阱LED发生带边辐射,二者结合就会产生白光。这种掺杂Si和Zn的InxGa1-xN-GaN多量子阱LED的场致发光光谱与荧光粉转换得到的白光LED的光谱非常相似。经过测量,其色温为6300K,色坐标为(0.316,0.312)。由于本实用新型的ZnO衬底外延结构以及包含有该外延结构的ZnO衬底芯片结构不用涂覆荧光粉,因此从根本上摆脱了荧光粉的束缚,其发光质量好、显色性好、稳定性好,提高了工作稳定性和使用寿命,减少了封装工序,可以使从白光LED的外延、芯片、封装、应用整个产业链的生产工艺简化,生产效率高,适于大批量生产。
ZnO的能带隙和激子束缚能较大,透明度高,有优异的常温发光性能,在室温下,氧化锌的能带隙约为3.3eV。高能带隙为ZnO带来击穿电压高、维持电场能力强、电子噪声小、可承受功率高等优点。而相对于能带隙同样很高的通常采用的氮化镓材料,ZnO具有更大的激子结合能(室温下约60meV),因而发光亮度更高。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明:
图1是本实用新型实施例中的外延结构示意图;
图2是本实用新型实施例中的芯片结构示意图;
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