[实用新型]一种振镜式三维激光模具型腔曲面蚀纹机

权利要求书

1.一种振镜式三维激光模具型腔曲面蚀纹机，其特征在于，包括控制模块、用于产生激光的激光器、用于传输所述激光的光电耦合器、以及用于对所述激光进行聚焦的线性移动模块和用于调节所述激光发射方向、以按照预定图形对模具型腔曲面进行蚀纹加工的转向模块；

所述控制模块与所述激光器电连接，用于控制所述激光器产生激光，并对所述激光器的运转状态进行检测；

所述控制模块与所述转向模块电连接，用于控制所述转向模块按照预定图形对模具型腔曲面进行蚀纹加工。

2.根据权利要求1所述的振镜式三维激光模具型腔曲面蚀纹机，其特征在于，所述线性移动模块包括用于调节所述激光聚焦长度的线性移动透镜、用于控制所述激光Z方向上聚焦高度的步进电机和用于透过经调节后激光的聚焦透镜。

3.根据权利要求2所述的振镜式三维激光模具型腔曲面蚀纹机，其特征在于，所述转向模块包括X-Y二维扫描振镜单元和F－Theta透镜；其中，

所述X-Y二维扫描振镜单元，用于设置所述激光蚀纹的平面工作区域尺寸；

所述F－Theta透镜，用于优化所述激光光束质量、使所述激光能聚焦到所述工作区域的任何位置，并对所述X-Y二维扫描振镜单元所引起的桶状扭曲进行补偿。

4.根据权利要求1所述的振镜式三维激光模具型腔曲面蚀纹机，其特征在于，所述线性移动模块和所述转向模块之间设置有导光臂。 

5.根据权利要求1所述的振镜式三维激光模具型腔曲面蚀纹机，其特征在于，所述激光器为光纤激光器，所述光电耦合器为光纤光电耦合器。