[实用新型]一种使薄膜无间隙平整贴敷于目标基底的装置有效
申请号: | 201120552100.7 | 申请日: | 2011-12-26 |
公开(公告)号: | CN202492572U | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 金虎;彭鹏 | 申请(专利权)人: | 金虎 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/01 |
代理公司: | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人: | 吴晓萍;钟守期 |
地址: | 201210 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 间隙 平整 目标 基底 装置 | ||
1.一种能使薄膜(4)无间隙平整贴敷于目标基底的装置,其特征在于,该装置包括:
一个箱体(5),用于容纳溶液(1);
一个承载板(3),用于承载目标基底,所述承载板的一端可动连接于箱体的一个侧壁上;
至少一个悬吊装置(7),所述悬吊装置与所述承载板的另一端相连;
至少一个牵引装置(6),所述牵引装置与所述悬吊装置一一对应,用于拉起或放下所述悬吊装置;以及
至少一个薄膜定位装置(2)。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述承载板与箱体的可动连接为可转动连接。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述承载板与箱体的可动连接为搭扣(8)或铰链结构。
4.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述承载板可作0-360°转动。
5.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述承载板上带有固定部件,以固定目标基底在其上的位置。
6.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述固定部件为凸缘。
7.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述悬吊装置为悬挂杆或悬挂线。
8.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述牵引装置为选自电机、气缸和滑轮中的一种或多种。
9.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述装置具有两个悬吊装置和牵引装置。
10.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述薄膜定位装置为喷嘴,所述喷嘴均匀分布于箱体除连接承载板一侧外的其余三个侧壁上。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的