[实用新型]一种使薄膜无间隙平整贴敷于目标基底的装置有效

专利信息
申请号: 201120552100.7 申请日: 2011-12-26
公开(公告)号: CN202492572U 公开(公告)日: 2012-10-17
发明(设计)人: 金虎;彭鹏 申请(专利权)人: 金虎
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;C23C16/01
代理公司: 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 代理人: 吴晓萍;钟守期
地址: 201210 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 薄膜 间隙 平整 目标 基底 装置
【权利要求书】:

1.一种能使薄膜(4)无间隙平整贴敷于目标基底的装置,其特征在于,该装置包括:

一个箱体(5),用于容纳溶液(1);

一个承载板(3),用于承载目标基底,所述承载板的一端可动连接于箱体的一个侧壁上;

至少一个悬吊装置(7),所述悬吊装置与所述承载板的另一端相连;

至少一个牵引装置(6),所述牵引装置与所述悬吊装置一一对应,用于拉起或放下所述悬吊装置;以及

至少一个薄膜定位装置(2)。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述承载板与箱体的可动连接为可转动连接。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述承载板与箱体的可动连接为搭扣(8)或铰链结构。

4.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述承载板可作0-360°转动。

5.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述承载板上带有固定部件,以固定目标基底在其上的位置。

6.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述固定部件为凸缘。

7.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述悬吊装置为悬挂杆或悬挂线。

8.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述牵引装置为选自电机、气缸和滑轮中的一种或多种。

9.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述装置具有两个悬吊装置和牵引装置。

10.根据权利要求1-3之一所述的装置,其特征在于,所述薄膜定位装置为喷嘴,所述喷嘴均匀分布于箱体除连接承载板一侧外的其余三个侧壁上。 

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