[实用新型]一种电镀微蚀装置

权利要求书

1.一种电镀微蚀装置，其特征在于，包括电镀微蚀槽和与所述电镀微蚀槽连通的药水回收槽。

2.如权利要求1所述的电镀微蚀装置，其特征在于，所述电镀微蚀装置还包括与药水回收槽及电镀微蚀槽连通的电解单元，所述电解单元对药水回收槽中的药水进行电解处理，并重新输送给电镀微蚀槽。

3.如权利要求2所述的电镀微蚀装置，其特征在于，所述电解单元置于所述药水回收槽中。

4.如权利要求1至3任一项所述的电镀微蚀装置，其特征在于，所述电镀微蚀装置还包括连通所述电镀微蚀槽与药水回收槽的第一输送管，所述第一输送管将电镀微蚀槽中的药水输送给药水回收槽。

5.如权利要求4所述的电镀微蚀装置，其特征在于，所述电镀微蚀装置还包括与第一输送管连接的第一水泵，所述第一水泵提供动力使第一输送管中的药水进入药水回收槽。

6.如权利要求3所述的电镀微蚀装置，其特征在于，所述电镀微蚀装置还包括连通所述电镀微蚀槽与药水回收槽的第二输送管，所述第二输送管将药水回收槽中经电解单元电解处理后的药水输送给电镀微蚀槽。

7.如权利要求6所述的电镀微蚀装置，其特征在于，所述电镀微蚀装置还包括与第二输送管连接的第二水泵，所述第二水泵提供动力使第二输送管中的药水进入药水回收槽。

8.如权利要求3所述的电镀微蚀装置，其特征在于，所述电解单元将药水回收槽分割为第一腔体和第二腔体，分别盛装电解单元电解处理前和处理后的药水。