[实用新型]一种掩模板及其检测系统有效
申请号: | 201120564714.7 | 申请日: | 2011-12-29 |
公开(公告)号: | CN202443245U | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 董云;彭志龙 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F1/44 | 分类号: | G03F1/44;G03F9/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模板 及其 检测 系统 | ||
1.一种掩模板,其特征在于:
在该掩模板的两个长边和/或短边,分别设置有卡扣槽。
2.根据权利要求1所述的掩模板,其特征在于,所述掩模板上的相对的两个边上的卡扣槽镜像对称。
3.根据权利要求1所述的掩模板,其特征在于,所述卡扣槽位于所述掩模板的外围非像素区域。
4.一种掩模板的检测系统,其特征在于,用于检测权利要求1至3任一权项所述的掩模板,所述检测系统包括:用于支撑所述掩模板的设备基台、卡件、卡件带动装置、活动装设于卡件上的卡头部、卡头部驱动装置、控制单元,以及第一报警单元;
所述卡件带动装置,用于根据所述控制单元的控制,带动所述卡件从卡件初始纵向位置移动到所述控制单元中预设的掩模板的卡扣槽的纵向位置;
所述卡头部驱动装置,用于根据所述控制单元的控制,带动所述卡头部从卡头部初始横向位置移动到所述控制单元中预设的掩模板的横向位置;
所述第一报警单元,用于当卡头部的抵顶到掩模板边缘时,发出调整掩模板提示信息。
5.根据权利要求4所述的检测系统,其特征在于,所述控制单元还包括装设于掩模板卡扣槽中的第一传感器,该第一传感器感受到所述卡头部的抵压时,向控制单元反馈压力信号,控制单元根据所述压力信号控制第一报警单元发出无需调整掩模板的提示信息。
6.根据权利要求5所述的检测系统,其特征在于,所述传感器为压力传感器。
7.根据权利要求4所述的检测系统,其特征在于,所述卡头部驱动装置通过气压或液压的方式带动卡头部移动。
8.根据权利要求4所述的检测系统,其特征在于,所述卡头部上装设有 与控制单元相连并可抵顶到掩模板边缘的第二压力传感器。
9.根据权利要求4所述的检测系统,其特征在于,所述卡头部与卡件之间设有与第一报警单元电连接以控制第一报警单元发出调整掩模板的行程开关。
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