[实用新型]一种双层MEMS器件堆叠封装件有效
| 申请号： | 201120568188.1 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202390195U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 朱文辉;李习周;慕蔚;郭丽花;郭小伟 | 申请（专利权）人： | 天水华天科技股份有限公司;华天科技（西安）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人： | 鲜林 |
| 地址： | 741000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双层 mems 器件 堆叠 封装 | ||
1.一种双层MEMS器件堆叠封装件，包括引线框架及包覆引线框架载体的包封体，其特征在于：所述的引线框架为单载体引线框架，所述引线框架载体1上端固定粘接有第一MEMS器件（3），所述第一MEMS器件（3）上堆叠粘接有第二MEMS器件（21），第一MEMS器件（3）通过反打线与第二MEMS器件（21）相连，形成第二键合线（15），第二MEMS器件（21）通过第一健合线（5）与引线框架载体（1）的内引脚（4）相连接。
2.根据权利要求1所述的一种双层MEMS器件堆叠封装件，其特征在于：所述的引线框架为设有第一载体（1）和第二载体（8）的双载体引线框架，所述第一载体（1）上通过第一粘片胶（2）粘接有第三MEMS器件（7），第三MEMS器件（7）上通过第二粘片胶（12）堆叠粘接有第四MEMS器件(9)；所述第二载体(8)上通过第三粘片胶(19)粘接有第五MEMS器件(14)，第五MEMS器件(14)上通过第四粘片胶(20)堆叠粘接有第六MEMS器件(18)；第三MEMS器件(7)与第五MEMS器件(14)通过第三键合线(16)相连通，第五MEMS器件(14)与第六MEMS器件(18)之间通过第二键合线(15)相连接，第六MEMS器件(18)与第四MEMS器件(9)之间通过第四键合线(17)相连接，第六MEMS器件(18)通过第一键合线(5)与引线框架载体的内引脚(4)相连接。
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