[实用新型]位置可调整的阴极屏蔽装置及电镀槽有效
申请号: | 201120571213.1 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN202482468U | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
发明(设计)人: | 王振荣;黄春杰;陈概礼 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D17/02 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 位置 可调整 阴极 屏蔽 装置 电镀 | ||
1.位置可调整的阴极屏蔽装置,其特征在于,包括屏蔽槽;所述屏蔽槽与驱动装置通过传动装置传动连接,驱动装置通过传动装置驱动屏蔽槽移动。
2.根据权利要求1所述的位置可调整的阴极屏蔽装置,其特征在于,所述传动装置包括第一传动轴,所述第一传动轴水平设置;驱动装置与第一传动轴传动连接且可驱动第一传动轴转动;第一传动轴与屏蔽槽传动连接。
3.根据权利要求2所述的位置可调整的阴极屏蔽装置,其特征在于,所述传动装置还包括第二传动轴,第二传动轴水平设置并与第一传动轴传动连接。
4.根据权利要求3所述的位置可调整的阴极屏蔽装置,其特征在于,所述传动装置还包括运动换向装置,所述运动换向装置为蜗杆与涡轮组合,蜗杆与第一传动轴连接;涡轮安装于第二传动轴上,运动换向装置或者为换向齿轮箱。
5.根据权利要求4所述的位置可调整的阴极屏蔽装置,其特征在于,所述第二传动轴安装于屏蔽槽上方;所述第二传动轴与屏蔽槽通过曲臂连接;第二传动轴穿过曲臂一端;屏蔽槽安装于曲臂的第二端;第二转轴转动通过曲臂驱动屏蔽槽上升或下降。
6.根据权利要求5所述的位置可调整的阴极屏蔽装置,其特征在于,所述第一传动轴上安装有与第一传动轴同步转动的计数齿轮;所述计数齿轮一侧安装安装有计数传感器。
7.根据权利要求5所述的位置可调整的阴极屏蔽装置,其特征在于,所述第二传动轴上安装有与第二传动轴同步转动的指针;指针一侧设置有弧度刻度盘,所述弧度刻度盘上设置有弧度刻度;指针与互相转盘相配合。
8.根据权利要求3至7任一权利要求所述的位置可调整的阴极屏蔽装置,其特征在于,所述第二传动轴数目为两根;两根第二传动轴分别通过运动换向装置与第一传动轴两端传动连接;驱动装置安装于第一传动轴中部。
9.根据权利要求1所述的位置可调整的阴极屏蔽装置,其特征在于,所述驱动装置为减速电机。
10.电镀槽,其特征在于,包括权利要求1-9任一权利要求所述的位置可调整的阴极屏蔽装置。
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