[实用新型]硅片用托举件有效
申请号: | 201120572218.6 | 申请日: | 2011-12-30 |
公开(公告)号: | CN202384380U | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 齐海洋;于春瑶 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/68 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 托举 | ||
技术领域
本实用新型涉及光伏电池制造技术领域,更具体地说,涉及一种硅片用托举件。
背景技术
光伏电池生产过程中,需要在光伏电池的半成品电池即硅片的表面镀上一层减反射膜。目前,采用化学气相沉积的方法在硅片表面形成减反射膜。化学气相沉积方法,即采用化学方法使气体在基体材料表面发生化学反应并形成覆盖层的方法。
硅片在镀减反射膜的过程中,硅片不可能悬浮于承载基板16的表面,需要有一定的装置对工艺中的硅片进行定位和托举。
现有的托举件,如图1所示,该装置包括定位部和位于定位部底端的托举部。该定位部包括第一夹壁11和第二夹壁14,第一夹壁11和第二夹壁14之间形成与承载基板16相配合的夹槽13;该托举部包括第一挂钩12和第二挂钩15,第一挂钩12和第二挂钩15分别凹向托举件的底部,且二者也凹向第一夹壁11和第二夹壁14的外侧面。
在使用时,托举件从承载基板16底部插入,使得承载基板16的边框位于夹槽13内,将第一夹壁11和第二夹壁14超出承载基板16的部分连在一起,实现定位;然后将待镀的硅片17搭放在第一挂钩12和第二挂钩15上,通过其他托举件的挂钩来共同实现对硅片17的托举,如图2所示。
很显然,在成膜过程中,现有的托举件与硅片17的接触为正面接触,即与硅片17的待镀膜面接触。托举件底部的第一挂钩12和第二挂钩15对硅片17有一定范围的遮挡,第一挂钩12和第二挂钩15阻挡了气流向硅片17与第一挂钩12和第二挂钩15相对应的部分,使得硅片17与第一挂钩12和第二挂钩15相 对应的部分不能镀上减反射膜或者镀上的减反射膜较薄,导致硅片17与第一挂钩12和第二挂钩15相对应的部分和硅片17的其他部分出现颜色差异,最终硅片17的表面出现了颜色不一致区域,降低了硅片17的镀膜质量。
综上所述,如何提供一种硅片用托举件,以减小硅片表面颜色不一致的区域,进而提高硅片的镀膜质量,是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供了一种硅片用托举件,减小了硅片表面颜色不一致的区域,进而提高了硅片的镀膜质量。
为了达到上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种硅片用托举件,位于承载基板上,用于托举待镀膜的硅片,该硅片用托举件包括:
定位部,所述定位部包括第一夹壁和第二夹壁,所述第一夹壁和第二夹壁之间形成与所述承载基板相配合的夹槽;
位于所述定位部底侧的托举部,所述托举部包括第一托臂和第二托臂,所述第一托臂和第二托臂分别外伸于所述第一夹壁和第二夹壁的外侧面,且所述第一托臂和第二托臂的顶面均向远离所述夹槽的一端倾斜。
优选的,上述硅片用托举件中,所述第一托臂和第二托臂的底面均向远离所述夹槽的一端倾斜。
优选的,上述硅片用托举件中,所述第一托臂和第二托臂的倾斜角度均为27°。
优选的,上述硅片用托举件中,所述第一夹壁的外侧设有依次远离所述凹槽底端的第一弯折凹槽和第一弯折凸起;
所述第二夹壁的外侧设有与所述第一弯折凸起和第一弯折凹槽相对应的第二弯折凸起和第二弯折凹槽;
所述硅片用托举件放置在承载基板上后,所述第一弯折凹槽和第二弯折凹槽靠近所述承载基板的侧面不低于所述承载基板的顶面。
优选的,上述硅片用托举件中,所述硅片用托举件放置在承载基板上后,所述第一弯折凹槽和第二弯折凹槽靠近所述承载基板的侧面与所述承载基板的顶面位于同一平面。
优选的,上述硅片用托举件中,所述第一托臂和第二托臂放置所述硅片后,所述硅片的上表面不低于所述夹槽的底面。
优选的,上述硅片用托举件中,所述第一托臂和第二托臂放置所述硅片后,所述硅片的上表面与所述夹槽的底面位于同一平面。
优选的,上述硅片用托举件,为不锈钢件。
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