[实用新型]光伏叠放硅片高速取片装置有效
申请号: | 201120573754.8 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN202373619U | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 朱绍明;戴军 | 申请(专利权)人: | 苏州罗博特科自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 夏烨 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 叠放 硅片 高速 装置 | ||
1.一种光伏叠放硅片高速取片装置,其特征在于:包括内部叠置有硅片的硅片盒、设于硅片盒侧部的组合风刀和设于硅片盒上方的高速吸盘,组合风刀包括对称设于硅片盒两侧的对吹多孔风刀。
2.根据权利要求1所述的光伏叠放硅片高速取片装置,其特征在于:所述每个对吹多孔风刀包括刀体,设于刀体一端的进风管,设于刀体另一端的相平行的多个吹嘴,刀体内开有与进风管、吹嘴相连通的风道。
3.根据权利要求2所述的光伏叠放硅片高速取片装置,其特征在于:
所述吹嘴的数量为两个、三个或其它多个。
4.根据权利要求2所述的光伏叠放硅片高速取片装置,其特征在于:
所述吹嘴的内孔直径为1mm。
5.根据权利要求2所述的光伏叠放硅片高速取片装置,其特征在于:所述对吹多孔风刀的两个吹嘴之间的中心距为44mm。
6.根据权利要求2所述的光伏叠放硅片高速取片装置,其特征在于:所述吹嘴与硅片盒内硅片的边部相距3cm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的