[实用新型]一种圆弧倒角硅片有效

专利信息
申请号: 201120573838.1 申请日: 2011-12-31
公开(公告)号: CN202465953U 公开(公告)日: 2012-10-03
发明(设计)人: 罗起发;施贤彪;丁国健 申请(专利权)人: 常州天合光能有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 王凌霄
地址: 213031 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 圆弧 倒角 硅片
【权利要求书】:

1.一种圆弧倒角硅片,硅片为矩形,在矩形硅片的四角具有倒角,其特征是:所述的硅片的倒角的轮廓包括倒角边线(3)和倒角边线(3)两侧的圆弧(2),倒角边线(3)两侧的圆弧(2)分别与硅片直边(1)和倒角边线(3)相切。

2.根据权利要求1所述的圆弧倒角硅片,其特征是:所述的圆弧(2)的半径R为300~700um,圆弧(2)的角度θ为30°~90°。

3.根据权利要求1所述的圆弧倒角硅片,其特征是:所述的倒角为45°倒角。

4.根据权利要求1或2或3所述的圆弧倒角硅片,其特征是:所述的圆弧(2)与硅片边线(1)的交点至硅片顶角的距离C为0.35~1.42mm,圆弧(2)与硅片边线(1)的两个交点之间的距离L为05.~2mm,硅片顶角至倒角边线(3)的垂直距离H为0.14~0.8mm。

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