[实用新型]一种圆弧倒角硅片

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种圆弧倒角硅片。

背景技术

相对圆倒角晶棒加工：目前圆棒单晶硅棒只需要滚圆，不需要倒角；方型硅棒都需要倒45度角，如图1和2所示。

传统机械磨轮倒角加工的硅片，在倒角处存在应力集中点，在后续加工过程中倒角尖角容易与工治具发生碰撞，导致硅片缺角或破裂。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种圆弧倒角硅片，减少倒角处因为应力集中而造成破裂。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种圆弧倒角硅片，硅片为矩形，在矩形硅片的四角具有倒角，硅片的倒角的轮廓包括倒角边线和倒角边线两侧的圆弧，倒角边线两侧的圆弧分别与硅片直边和倒角边线相切。

圆弧的半径R为300～700um，圆弧的角度θ为30°～90°。

倒角为45°倒角。

圆弧与硅片边线的交点至硅片顶角的距离C为0.35～1.42mm，圆弧与硅片边线的两个交点之间的距离L为05.～2mm，硅片顶角至倒角边线的垂直距离H为0.14～0.8mm。

本实用新型的有益效果是：1、圆倒角硅片改变晶棒倒角方法，使得晶棒倒角处呈弧形。切割成的硅片不易造成缺角破裂；呈弧形的圆角与工装接触时，避免尖角点接触，减少这种受力集中造成破裂不良。2、圆倒角硅片相对传统倒角改善倒角处结构，可使得硅片单片面积增加约0.1016mm²～1.200mm²。

附图说明

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

图1是传统硅片倒角处的结构示意图；

图2是本实用新型的硅片倒角处的结构示意图；

其中：1.硅片直边，2.圆弧，3.倒角边线。

具体实施方式

如图2所示，一种圆弧倒角硅片，硅片为矩形，在矩形硅片的四角具有倒角，硅片的倒角的轮廓包括倒角边线3和倒角边线3两侧的圆弧2，倒角边线3两侧的圆弧2分别与硅片直边1和倒角边线3相切。

圆弧2的半径R为300～700um，圆弧2的角度θ为30°～90°。圆弧2与硅片边线1的交点至硅片顶角的距离C为0.35～1.42mm，圆弧2与硅片边线1的两个交点之间的距离L为05.～2mm，硅片顶角至倒角边线3的垂直距离H为0.14～0.8mm。

倒角为45°倒角。

如图1和2所示，当圆弧2与硅片边线1的交点至硅片顶角的距离C与图1中的倒角边长B相同，圆弧2与硅片边线1的两个交点之间的距离L与图1中的倒角线长N相同，图2中的图像填充区域即为采用本方案的圆弧倒角后增加的区域。