[实用新型]一种单晶炉排气装置

权利要求书

1.一种单晶炉排气装置，所述单晶炉包括炉体和铺设在所述炉体底部的保护层，其特征在于，该排气装置包括：

设置在所述保护层上方的反射板，所述反射板设置在所述加热器的正下方；

其中，所述反射板包括上下反射板，并且该反射板上设置有贯穿上下反射板的通孔，所述通孔内设置有导气管，所述导气管与靠近反射板的炉体抽气口连通，并且，所述导气管的形状和大小与所述通孔的形状相匹配。

2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述导气管通过导气管护套与炉体抽气口连通。

3.根据权利要求2所述的排气装置，其特征在于，所述导气管护套包括水平排气管和方形管，所述方形管具有竖直接口和水平接口，所述竖直接口与所述导气管下端连通，所述水平接口与所述水平排气管的一端连通，所述水平排气管的另一端与所述抽气口连通。

4.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述导气管为“L”字形的导气管，所述“L”字形的导气管的竖直端连通所述通孔，所述“L”字形的导气管的水平端连接所述抽气口。

5.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述通孔包括为圆形通孔或方形通孔。

6.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述导气管为：

聚偏氟乙烯导气管；

或聚丙烯导气管。

7.根据权利要求3所述的排气装置，其特征在于，所述导气管护套为：

聚偏氟乙烯护套；

或聚丙烯护套。