[发明专利]玻璃基板的不均率测量系统及方法

权利要求书

1.一种玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，包括：

向所述玻璃基板照射第一光的光源部；以及屏幕，

其中，以所述玻璃基板为基准排列所述光源部和所述屏幕，以使从所述光源部照射的第一光被所述玻璃基板的上面和下面反射、使被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光入射至所述屏幕形成第一条带、以及使被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出的第二反射光入射至所述屏幕形成第二条带，所述第一条带和所述第二条带分离而成。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，还包括：

感应部，感应形成于所述屏幕的条带；以及

不均率测量部，在被所述感应部感应的条带中，仅分离出所述第一条带，并且对所分离出的第一条带进行分析，以测量所述玻璃基板的不均率。

3.根据权利要求1所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，所述光源部包括：

光源，输出第二光；

第一透镜，对从所述光源照射的第二光进行扩散；以及

第二透镜，将被所述第一透镜扩散的第二光输出成具有设定线宽的第一光。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，

所述光源、所述第一透镜和所述第二透镜被设置在一个壳体内，所述壳体能够朝全向移动，

所述不均率测量系统，在固定所述玻璃基板和所述屏幕的状态下，移动所述壳体以检测所述条带被分离的最佳位置，并且将所述壳体固定在所检测的位置。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，

所述光源部和所述玻璃基板之间的距离与从所述玻璃基板至形成于所述屏幕的所述第一条带的部分的距离的比例为1∶1至1∶0.5；

所述光源部，以所述玻璃基板为基准，呈45度和80度范围之间的角度。

6.根据权利要求4所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，

所述光源部和所述玻璃基板之间的距离为60mm至120mm，并且所述光源部以所述玻璃基板为基准呈45度和80度范围之间的角度的状态下，

若从所述玻璃基板至形成于所述屏幕的所述第一条带的部分的距离在60mm以下，则所述条带相互分离而成。

7.根据权利要求4所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，

所述第二透镜和所述玻璃基板之间的距离固定的状态下，随着所述玻璃基板和所述光源部之间的角度增加，所述玻璃基板和所述屏幕之间的距离缩小。

8.一种玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，包括：

光源，输出设定光；以及

缝隙部，具有至少一个缝隙，

其中，从所述光源输出的光经由所述缝隙部的缝隙照射至所述玻璃基板，照射至所述玻璃基板的光被所述玻璃基板的上面和下面反射，与被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光对应的第一条带以及与被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出第二反射光对应的第二条带分离排列。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，还包括：

感应部，感应所述第一条带和所述第二条带；以及

不均率测量部，在被所述感应部感应的条带中，仅分离出所述第一条带，并且对所分离出的第一条带进行分析，以测量所述玻璃基板的不均率，

其中，所述感应部直接对所述玻璃基板进行摄影，以感应所述条带。

10.根据权利要求8所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，还包括：

屏幕，入射有所述第一反射光和所述第二反射光；

感应部；以及

不均率测量部，

其中，在所述屏幕形成有与所述第一反射光对应的所述第一条带和与所述第二反射光对应的第二条带；所述感应部感应所述条带；所述不均率测量部，在被所述感应部感应的条带中，仅对所述第一条带进行分离和分析，以测量所述玻璃基板的不均率。

11.一种玻璃基板的不均率测量方法，其特征在于，包括：

向所述玻璃基板照射第一光；以及

根据所述第一光的照射，感应与被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光对应的第一条带、以及与被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出的第二反射光对应的第二条带中的至少一个，

其中，所述第一条带和所述第二条带相互分离而成。