[发明专利]电磁波供电机构以及微波导入机构

权利要求书

1.一种电磁波供电机构，其向同轴构造的波导供给电磁波电力，该电磁波供电机构具备：

电力导入端口，该电力导入端口被设置在所述同轴构造的波导的侧部，并连接有供电线；及

供电天线，该供电天线与所述供电线连接，用于向所述波导的内部辐射电磁波电力，

所述供电天线具有：天线本体，该天线本体具有与所述供电线连接的第1极和与所述波导的内侧导体接触的第2极；和形成为环状的反射部，该形成为环状的反射部从所述天线本体的两侧沿着所述内侧导体的外侧延伸，

由射入到所述天线本体的电磁波与被所述反射部反射的电磁波形成驻波，电磁波电力通过该驻波产生的感应磁场以及感应电场的连锁作用在所述波导中传播。

2.根据权利要求1所述的电磁波供电机构，其特征在于，

还具有在所述波导的供电方向的相反侧设置的反射板，

使由所述供电天线供给的电磁波电力被所述反射板反射而在所述波导中传播。

3.根据权利要求2所述的电磁波供电机构，其特征在于，

还具备在所述反射板与所述供电天线之间设置的滞波部件，该滞波部件缩短电磁波的有效波长。

4.一种微波导入机构，其用于在处理室内形成表面波等离子体的表面波等离子体源，该微波导入机构具备：

呈同轴构造的波导；

电力导入端口，该电力导入端口被设置于所述同轴构造的波导的侧部，并连接有所述同轴线路；

供电天线，该供电天线与所述同轴线路的内侧导体连接，用于向所述波导的内部辐射电磁波电力；

天线部，该天线部具有微波辐射天线，该微波辐射天线用于向所述处理室内辐射被供给到所述波导的微波，

所述供电天线具有：天线本体，该天线本体具有与所述供电线连接的第1极和与所述波导的内侧导体接触的第2极；和形成为环状的反射部，该形成为环状的反射部从所述天线本体的两侧沿着所述内侧导体的外侧延伸，

由射入到所述天线本体的电磁波与被所述反射部反射的电磁波形成驻波，电磁波电力通过该驻波产生的感应磁场以及感应电场的连锁作用在所述波导中传播。

5.根据权利要求4所述的微波导入机构，其特征在于，

还具有在所述波导的供电方向的相反侧设置的反射板，

使由所述供电天线供给的电磁波电力被所述反射板反射而在所述波导中传播。

6.根据权利要求5所述的微波导入机构，其特征在于，

还具备在所述反射板与所述供电天线之间设置的滞波部件，该滞波部件缩短电磁波的有效波长。

7.根据权利要求4所述的微波导入机构，其特征在于，

还具备入射波反射波监视器，该入射波反射波监视器具有：定向耦合器，该定向耦合器被设置于所述波导中，用于取出由通过所述波导的微波中的朝向所述处理室的入射波和被反射而返回来的反射波的任意一方所引起的电流；和检测器，该检测器检测所述定向耦合器所取出的电流。

8.根据权利要求7所述的微波导入机构，其特征在于，

所述定向耦合器具有：缝隙，其被形成于所述同轴构造的波导的外侧导体；板状导体，其被设置于所述缝隙内；一对导电柱，其取出在所述板状导体中流动的电流；和由导电体构成的调整器，该由导电体构成的调整器被设置于所述外侧导体的外侧，按照与所述板状导体相对置的方式设置，并且可以调节与所述板状导体之间的距离，所述缝隙的与所述调整器相对置的部分形成与所述调整器对应地扩宽的形状。

9.根据权利要求7所述的微波导入机构，其特征在于，

还具备调谐器，该调谐器被设置于所述电力导入端口与所述天线部之间，用于使所述处理室内的负载的阻抗与装载于所述表面波等离子体源的微波电源的特性阻抗相匹配，

所述调谐器具有呈环状的由电介质构成的铁芯，该呈环状的由电介质构成的铁芯被设置于所述外侧导体与所述内侧导体之间，沿内侧导体的长度方向可以移动，

所述定向耦合器被设置于所述电力导入端口与所述铁芯之间，或者/以及被设置于所述铁芯与所述天线部之间。