[发明专利]电磁波供电机构以及微波导入机构

说明书

技术领域

本发明涉及电磁波供电机构以及微波导入机构。

背景技术

在半导体器件或液晶显示装置的制造工序中，为了对半导体晶片、玻璃基板之类的被处理基板施以蚀刻处理或成膜处理等等离子体处理，要使用等离子体蚀刻装置或等离子体CVD成膜装置等等离子体处理装置。

近来，作为这样的等离子体处理装置，能够均匀地形成高密度、低电子温度的表面波等离子体的RLSA(Radial Line Slot Antenna)微波等离子体处理装置备受注目(例如日本特开2007-109457号公报)。

RLSA微波等离子体处理装置在处理室的上部设置以规定的图案形成了缝隙的平面天线(Radial Line Slot Antenna)，从平面天线的缝隙向处理室内辐射由微波发生源通过同轴构造的波导所导入的微波，通过微波电场将导入处理室内的气体等离子体化，对半导体晶片等被处理体进行等离子体处理。

另外，还提出一种具有微波等离子体源的微波等离子体处理装置，该微波等离子体源通过将微波分配为多路，用固态放大器放大，经由具有同轴构造的波导与形成了上述缝隙的平面天线的多个天线模块将微波导入处理室内，在处理室内对微波进行空间合成(国际公开第2008/013112号小册子)。

为了向同轴构造的波导供给微波电力之类的电磁波电力，如上述专利文献2所记载的那样，通常，在同轴构造的波导的轴的延长线上设置供电端口，从这里进行供电。

发明内容

但是，在装置的设计上，有时需要在对应同轴构造的波导的轴的延长线上的部分配置驱动机构、其他的部件，在这种情况下，不存在有效的供电方式。

本发明的目的在于提供一种当从同轴构造的波导的轴的延长线上不能供给电磁波电力时，也能够有效地向同轴构造的波导供给电磁波电力的电磁波供电机构以及使用该电磁波供电机构的微波导入机构。

根据本发明的第1观点，提供一种电磁波供电机构，其向同轴构造的波导供给电磁波电力，该电磁波供电机构的特征在于，具备电力导入端口，该电力导入端口被设置在所述同轴构造的波导的侧部，连接有供电线；和供电天线，该供电天线与所述供电线连接，向所述波导的内部辐射电磁波电力，所述供电天线具有：天线本体，该天线本体具有与所述供电线连接的第1极和与所述波导的内侧导体接触的第2极；和形成为环状的反射部，该形成为环状的反射部从所述天线本体的两侧沿着所述内侧导体的外侧延伸，由射入所述天线本体的电磁波与被所述反射部反射的电磁波形成驻波，电磁波电力通过该驻波产生的感应磁场以及感应电场的连锁作用在所述波导中传播。

在上述第1观点中，还具有在所述波导的供电方向相反侧设置的反射板，可以使由所述供电天线供给的电磁波电力被所述反射板反射而在所述波导中传播。另外，还具有在所述反射板与所述供电天线之间设置的滞波部件，还可以缩短电磁波的有效波长。

根据本发明的第2观点，提供一种微波导入机构，其用于在处理室内形成表面波等离子体的表面波等离子体源，该微波导入机构的特征在于，具备：呈同轴构造的波导；电力导入端口，该电力导入端口被设置于所述同轴构造的波导的侧部，并与供电线连接；供电天线，该供电天线与所述供电线连接，向所述波导的内部辐射电磁波电力；和天线部，该天线部具有向所述处理室内辐射供给到所述波导的微波的微波辐射天线，所述供电天线具有：天线本体，该天线本体具有与所述供电线连接的第1极和与所述波导的内侧导体接触的第2极；和形成为环状的反射部，该形成为环状的反射部从所述天线本体的两侧沿着所述内侧导体的外侧延伸，由射入到所述天线本体的电磁波与被所述反射部反射的电磁波形成驻波，电磁波电力通过该驻波产生的感应磁场以及感应电场的连锁作用在所述波导中传播。