[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

压电基板，其具有上面；

梳形电极，按照在上方形成用于激励所述压电基板的激励空间的方式，被设置在所述压电基板的所述上面上；

第1布线，其设置在所述压电基板的所述上面上；

有机绝缘体，其覆盖所述第1布线的至少一部分；

第2布线，其设置在所述有机绝缘体的上面的第1部分上；和

无机绝缘体，其覆盖所述有机绝缘体的所述上面的至少第2部分，

所述有机绝缘体的所述上面的所述第2部分隔着所述无机绝缘体与所述激励空间对置。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述无机绝缘体覆盖所述有机绝缘体的所述上面的所述第2部分、所述第2布线的上面，

所述有机绝缘体的所述上面的所述第2部分和所述第2布线的所述上面隔着所述无机绝缘体与所述激励空间对置。

3.一种弹性波装置，具备：

压电基板，其具有上面；

梳形电极，其设置在所述压电基板的所述上面上；

第1布线，其设置在所述压电基板的所述上面上；和

绝缘体，其覆盖所述第1布线的至少一部分，

所述绝缘体具有：

第1无机绝缘体，其设置在所述第1布线的上面上；

有机绝缘体，其覆盖所述第1无机绝缘体；和

第2无机绝缘体，其覆盖所述有机绝缘体。

4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

还具备：第2布线，其设置在所述绝缘体的上面上。

5.一种弹性波装置，具备：

压电基板，其具有上面；

梳形电极，其设置在所述压电基板的所述上面上；

绝缘体，其覆盖所述压电基板的所述上面的至少一部分；和

布线，其配置在所述绝缘体的上面上，

所述绝缘体具有：

第1无机绝缘体，其设置在所述压电基板的所述上面上；

有机绝缘体，其覆盖所述第1无机绝缘体；和

第2无机绝缘体，其覆盖所述有机绝缘体。

6.根据权利要求3至5任意一项所述的弹性波装置，其中，

所述有机绝缘体的厚度比所述第1无机绝缘体的厚度与所述第2无机绝缘体的厚度的合计厚度更大，

所述有机绝缘体的介电常数小于所述第1无机绝缘体的介电常数和所述第2无机绝缘体的介电常数。

7.根据权利要求3至5任意一项所述的弹性波装置，其中，

还具备：第3无机绝缘体，其设置在所述压电基板的所述上面上，与所述绝缘体相连。

8.根据权利要求3至5任意一项所述的弹性波装置，其中，

在所述绝缘体与所述压电基板的所述上面接触的外周端部，所述绝缘体的剖面呈锐角。