[发明专利]弹性波装置

说明书

技术领域

本发明涉及作为移动通信设备等的高频滤波器使用的弹性波装置。

背景技术

在便携电话等的小型的通信机中，多数情况下将弹性波装置(acoustic wave device)用作以几十MHz几GHz的范围为通带频率的高频滤波器。

图3A是现有的弹性波装置1的压电基板2的俯视图。图3B是图3A所示的弹性波装置1的线3B-3B处的剖视图。弹性波装置1具备由钽酸锂或铌酸锂等的压电体单结晶构成的压电基板2、设置在压电基板2的表面的多个梳形电极3。弹性波装置1利用激励弹性波的多个梳形电极3形成滤波器电路。

在弹性波装置1中，在连接于梳形电极3的布线与其他布线靠近的位置，布线中流过的高频电流受到相互作用。由此产生寄生电容或寄生电感等的寄生成分，弹性波装置1的插入损耗或衰减等的高频滤波器特性下降。由于可用作压电基板2的压电体单结晶一般是介电常数超过20的高介电常数材料，因此处于在压电基板2上配置的布线中容易发生寄生成分的状况。为了抑制寄生成分的发生，在立体交叉的布线4与布线5之间配置绝缘体6，此外在压电基板2与布线7之间配置绝缘体8，或者在布线9上配置绝缘体10。用容易形成厚膜且能够选择低介电常数材料的树脂材料来形成绝缘体6、8、10，由此可抑制在这些布线中产生的寄生成分的影响。为了确保梳形电极3所激励的激励空间，由密封部件10A密封压电基板2的上面。

再者，专利文献1中记载了与现有的弹性波装置1类似的弹性波装置。

近年来，针对移动通信设备假设了在高湿度条件下长时间使用的情况，从而对于可靠性的要求越来越强烈。

在现有的弹性波装置1中，在高湿度条件下长时间施加电压的情况下，构成绝缘体6、8、10的树脂有时会损坏，弹性波装置1的可靠性受损。

专利文献1中记载了与现有的弹性波装置1类似的弹性波装置。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】JP特开2004-282707号公报

发明内容

本发明的弹性波装置具备：压电基板、设置在压电基板的上面上的梳形电极、设置在压电基板的上面上的第1布线、覆盖第1布线的至少一部分的有机绝缘体、设置在有机绝缘体的上面的第1部分上的第2布线、和覆盖有机绝缘体的上面的至少第2部分的无机绝缘体。在梳形电极的上方形成用于激励压电基板的激励空间。有机绝缘体的上面的第2部分隔着无机绝缘体与激励空间对置。

该弹性波装置具有良好的高频特性，具有高的长期可靠性。

附图说明

图1A是本发明的实施方式1中的弹性波装置的压电基板的俯视图。

图1B是图1A所示的弹性波装置的线1B-1B处的剖视图。

图1C是实施方式1中的弹性波装置的梳形电极与布线的剖视图。

图1D是实施方式1中的弹性波装置的放大剖视图。

图2A是本发明的实施方式2中的弹性波装置的压电基板的俯视图。

图2B是图2A所示的弹性波装置的线2B-2B处的剖视图。

图2C是图2A所示的弹性波装置的线2C-2C处的剖视图。

图3A是现有的弹性波装置的压电基板的俯视图。

图3B是图3A所示的弹性波装置的线3B-3B处的剖视图。

具体实施方式

(实施方式1)

图1A是本发明的实施方式1中的弹性波装置11的压电基板12的俯视图。图1B是图1A所示的弹性波装置11的线1B-1B处的剖视图。

弹性波装置11具备压电基板12、在压电基板12的上面112设置的梳形电极13A～13E。压电基板12由钽酸锂或铌酸锂等的压电体单结晶构成。梳形电极13A～13E被构成为在压电基板12激励弹性波，弹性波装置11形成滤波器电路。弹性波装置11还具备与梳形电极13A、13B、13C、13D、13E分别连接的布线14、15、16、20、21。布线14、15、16、21设置在压电基板12的上面112上。布线14、15通过布线18连接。布线18跨越布线16进行立体交叉。具体而言，以覆盖布线16的方式在布线16的上面116设置绝缘体17。在绝缘体17的上面117上设置布线18。布线18位于布线16的正上方，隔着绝缘体17与布线16对置。布线14、15、16、18、20、21是导体，构成为为了使弹性波装置11动作而被施加电压。

在压电基板12的上面112上设置具有低介电常数的绝缘体19。在绝缘体19的上面119上设置布线20。通过该构造可改善布线20的高频特性。