[发明专利]基板收纳装置

权利要求书

1.一种基板收纳装置，其用于收纳基板，其特征在于，

该基板收纳装置包括：

供气部，其用于将外部空气引入到上述基板收纳装置内；

排气部，其与上述供气部相对配置；

基板载置板，其设在上述供气部与上述排气部之间，具有将上述供气部与上述排气部之间连通的连通孔；

供气过滤器，其设在上述供气部；

鼓风机，其设在上述供气部或上述排气部，

该基板收纳装置装卸自如地设有状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的任一个或装卸自如地设有状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的两个以上的组合，该状态传感器用于检测上述基板收纳装置内的状态。

2.根据权利要求1所述的基板收纳装置，其特征在于，

上述状态传感器是温度传感器、带电传感器、微粒传感器、振动传感器和气体传感器中的任一个或是温度传感器、带电传感器、微粒传感器、振动传感器和气体传感器中的两个以上的组合。

3.根据权利要求2所述的基板收纳装置，其特征在于，

该基板收纳装置设有：

存储部，其用于存储上述状态传感器的输出；

控制部，其判定被存储在上述存储部的上述状态传感器的输出是否大于规定的阈值。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的基板收纳装置，其特征在于，

具有以包覆上述基板收纳装置的方式收纳上述基板收纳装置的外侧容器，

在上述基板收纳装置与上述外侧容器之间形成有使来自上述排气部的排气返回到上述供气部的循环通路。

5.根据权利要求4所述的基板收纳装置，其特征在于，

在上述基板收纳装置与上述外侧容器之间设有隔振件，将上述隔振件之间的空间作为上述循环通路。

6.根据权利要求4所述的基板收纳装置，其特征在于，

在上述基板收纳装置的外侧或上述外侧容器的外侧设有隔振件。

7.根据权利要求6所述的基板收纳装置，其特征在于，

在上述供气部与上述排气部之间装卸自如地设有侧板。

8.一种基板收纳装置，其用于收纳基板，其特征在于，

该基板收纳装置包括：

供气部，其设有向上述基板收纳装置内导入吹扫气体的导入部；

排气部，其与上述供气部相对配置；

基板载置板，其设在上述供气部与上述排气部之间，具有将上述供气部与上述排气部之间连通的连通孔；

鼓风机，其设在上述供气部或上述排气部，

该基板收纳装置装卸自如地设有状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的任一个或装卸自如地设有状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的两个以上的组合，该状态传感器用于检测上述基板收纳装置内的状态。

9.一种基板收纳装置，其用于收纳基板，其特征在于，

该基板收纳装置包括：

供气部，其用于向上述基板收纳装置内引入外部空气；

排气部，其与上述供气部相对配置；

基板载置板，其设在上述供气部与上述排气部之间，具有将上述供气部与上述排气部之间连通的连通孔；

鼓风机，其设在上述供气部或上述排气部，

该基板收纳装置装卸自如地设有状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的任一个或装卸自如地设有状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的两个以上的组合，该状态传感器用于检测上述基板收纳装置内的状态，

上述排气部与上述供气部之间对外开口。

10.根据权利要求9所述的基板收纳装置，其特征在于，

该基板收纳装置具有以包覆上述基板收纳装置的方式收纳上述基板收纳装置的外侧容器，

在上述外侧容器上，设有用于封闭上述排气部与上述供气部之间的开口的封闭板，

在上述基板收纳装置与上述外侧容器之间形成有使来自上述排气部的排气返回到上述供气部的循环通路。

11.根据权利要求10所述的基板收纳装置，其特征在于，

在上述基板收纳装置与上述外侧容器之间设有隔振件，并且将上述隔振件之间的空间作为上述循环通路。

12.根据权利要求10所述的基板收纳装置，其特征在于，

在上述基板收纳装置的外侧或上述外侧容器的外侧设有隔振件。