[发明专利]压电薄膜谐振器、通信模块、通信装置

权利要求书

1.一种压电薄膜谐振器，该压电薄膜谐振器具有：

基板；

下部电极，其配置在所述基板的上方；

压电膜，其配置在所述下部电极的上方；以及

上部电极，其隔着所述压电膜的至少一部分而与所述下部电极相对配置，

其中，

所述压电薄膜谐振器具有配置在所述上部电极的上方的质量负载膜，

所述质量负载膜至少在与所述下部电极相对的区域形成有多个凹凸图案，

所述凹凸图案以在所述区域的中心部密集配置，在所述区域的外周部稀疏配置的方式形成。

2.根据权利要求1所述的压电薄膜谐振器，其中，

所述上部电极具有以与所述凹凸图案嵌合的方式形成的凹凸图案。

3.根据权利要求1所述的压电薄膜谐振器，其中，

所述凹凸图案以在所述区域的中心部密集配置，在所述区域的外周部稀疏配置的方式，规则地改变间距。

4.根据权利要求1所述的压电薄膜谐振器，其中，

所述凹凸图案是岛状或洞状的点图案。

5.一种通信模块，其中，该通信模块具有权利要求1或2所述的压电薄膜谐振器。