[发明专利]接触式探针及探针单元

权利要求书

1.一种接触式探针，其将不同的基板之间连接，且为板厚均匀的大致平板状，所述接触式探针的特征在于，具备：

第一接触部，其具有弯曲成弧状的侧面，且通过该侧面与一基板接触；

第二接触部，其具有弯曲成弧状的侧面，且通过该侧面与另一基板接触；

连接部，其将所述第一接触部及所述第二接触部连接；

弹性部，其从所述第二接触部延伸，呈一部分弯曲成弧状的形状，且在施加于所述第一接触部及所述第二接触部的载荷的作用下进行弹性变形。

2.如权利要求1所述的接触式探针，其特征在于，

所述弹性部的宽度比所述连接部的宽度小。

3.如权利要求1或2所述的接触式探针，其特征在于，

所述连接部呈弧状。

4.如权利要求1至3中任一项所述的接触式探针，其特征在于，

所述弹性部的一部分呈直线状。

5.如权利要求1至3中任一项所述的接触式探针，其特征在于，

所述弹性部位于与所述第一接触部相接的第一平面和与所述第一平面平行且与所述第二接触部相接的第二平面之间。

6.一种探针单元，其特征在于，

具备大致平板状的接触式探针和保持所述接触式探针的保持部，

所述接触式探针具有：第一接触部，其具有弯曲成弧状的侧面，且通过该侧面与一基板接触；第二接触部，其具有弯曲成弧状的侧面，且通过该侧面与另一基板接触；连接部，其将所述第一接触部及所述第二接触部连接；弹性部，其从所述第二接触部延伸，呈一部分弯曲成弧状的形状，且在施加于所述第一接触部及所述第二接触部的载荷的作用下进行弹性变形。

7.如权利要求6所述的探针单元，其特征在于，

所述保持部设有孔部，该孔部具有与所述弹性部相等的直径，且收容并固定所述弹性部的与所述连接部侧不同的端部。

8.如权利要求6或7所述的探针单元，其特征在于，

所述保持部至少在一个部位与所述第二接触部接触。

9.如权利要求8所述的探针单元，其特征在于，

所述第二接触部的、将在未施加载荷的状态下与所述另一基板及所述保持部分别接触的接触部位彼此之中成为最短的接触部位彼此连结的外缘呈圆弧形状。

10.如权利要求6至9中任一项所述的探针单元，其特征在于，

所述保持部形成有能够收容所述接触式探针的狭缝。