[发明专利]接触式探针及探针单元

说明书

技术领域

本发明涉及在电气电路基板间等的连接中所采用的接触式探针及探针单元。

背景技术

以往，在对半导体集成电路或液晶面板等检查对象进行导通状态检查或动作特性检查之际，为了实现检查对象与输出检查用信号的信号处理装置之间的电连接，使用收容多个导电性的接触式探针的探针单元。在探针单元中，随着近年来的半导体集成电路和液晶面板的高集成化、微细化的进展，通过使接触式探针间的间距狭小化而在被高集成化、微细化的检查对象中也能够应用的技术正在进步。

作为使接触式探针间的间距狭小化的技术，已知有例如具备能够基于来自接触式探针的外部的载荷而弯曲的弹性的线型的接触式探针所相关的技术。线型的接触式探针与采用弹簧的销型的接触式探针相比，细径化容易，但在施加载荷时挠曲的方向不一致，可能产生相邻的接触式探针彼此接触或在与被接触体的接触中产生偏差。由此，在线型的接触式探针中，实施了用于使基于载荷的挠曲的方向均匀一致的各种研究。其中，在专利文献1中，公开了在与接触体的接触间形成弯曲的形状且具有弹性的接触式探针被分别收容在测试台中的探针单元。该接触式探针的具有弹性的部分与电气信号的导通部分通用。

【先行技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】：日本特开平4-277665号公报

但是，在专利文献1所公开的接触式探针中，为了确保弹性而必须要增长接触式探针自身，电阻变大，存在导通性变差这样的问题。

发明内容

本发明就是鉴于上述情况而作出的，其目的在于，提供一种具有弹性且在接触对象之间能够获得可靠且良好的导通的接触式探针及探针单元。

为了解决上述的课题而实现目的，本发明所涉及的接触式探针将不同的基板之间连接，且为板厚均匀的大致平板状，所述接触式探针的特征在于，具备：第一接触部，其具有弯曲成弧状的侧面，且通过该侧面与一基板接触；第二接触部，其具有弯曲成弧状的侧面，且通过该侧面与另一基板接触；连接部，其将所述第一接触部及所述第二接触部连接；弹性部，其从所述第二接触部延伸，呈一部分弯曲成弧状的形状，且在施加于所述第一接触部及所述第二接触部的载荷的作用下进行弹性变形。

另外，本发明所涉及的接触式探针在上述的发明的基础上，其特征在于，所述弹性部的宽度比所述连接部的宽度小。

另外，本发明所涉及的接触式探针在上述的发明的基础上，其特征在于，所述连接部呈弧状。

另外，本发明所涉及的接触式探针在上述的发明的基础上，其特征在于，所述弹性部的一部分呈直线状。

另外，本发明所涉及的接触式探针在上述的发明的基础上，其特征在于，所述弹性部位于与所述第一接触部相接的第一平面和与所述第一平面平行且与所述第二接触部相接的第二平面之间。

另外，本发明所涉及的探针单元的特征在于，具备大致平板状的接触式探针和保持所述接触式探针的保持部，所述接触式探针具有：第一接触部，其具有弯曲成弧状的侧面，且通过该侧面与一基板接触；第二接触部，其具有弯曲成弧状的侧面，且通过该侧面与另一基板接触；连接部，其将所述第一接触部及所述第二接触部连接；弹性部，其从所述第二接触部延伸，呈一部分弯曲成弧状的形状，且在施加于所述第一接触部及所述第二接触部的载荷的作用下进行弹性变形。

另外，本发明所涉及的探针单元在上述的发明的基础上，其特征在于，所述保持部设有孔部，该孔部具有与所述弹性部相等的直径，且收容并固定所述弹性部的与所述连接部侧不同的端部。

另外，本发明所涉及的探针单元在上述的发明的基础上，其特征在于，所述保持部至少在一个部位与所述第二接触部接触。

另外，本发明所涉及的探针单元在上述的发明的基础上，其特征在于，所述第二接触部的、将在未施加载荷的状态下与所述另一基板及所述保持部分别接触的接触部位彼此之中成为最短的接触部位彼此连结的外缘呈圆弧形状。

另外，本发明所涉及的探针单元在上述的发明的基础上，其特征在于，所述保持部形成有能够收容所述接触式探针的狭缝。

发明效果

在本发明所涉及的接触式探针及探针单元中，具有导通性的部分和具有弹性的部分分别由接触式探针的不同位置来承担，因此，实现既可确保弹性，并且在与接触对象之间也可获得可靠且良好的导通这样的效果。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式一所涉及的探针单元的结构的立体图。

图2是表示图1所示的探针单元的主要部分的结构的分解立体图。

图3是表示图1所示的探针单元的主要部分的结构的分解立体图。