[发明专利]阳极氧化铝的制造方法、检查装置以及检查方法

权利要求书

1.一种阳极氧化铝的制造方法，其为制造具有两个以上细孔的阳极氧化铝的方法，其包括：

阳极氧化铝形成后由照明单元对阳极氧化铝表面照射光，

用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光，

从所述摄像单元拍摄的图像取得色彩信息，以及，

基于所述色彩信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状。

2.根据权利要求1所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光包括：

以所述摄像单元的光轴相对于所述阳极氧化铝表面的法线的角度为45~89.9°的方式拍摄。

3.根据权利要求1所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光包括：

以所述摄像单元的光轴相对于所述阳极氧化铝表面的法线的角度为65~89.9°的方式拍摄。

4.根据权利要求1所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光包括：

以所述摄像单元的光轴相对于所述阳极氧化铝表面的法线的角度为80~89.9°的方式拍摄。

5.根据权利要求1所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，基于所述色彩信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状包括：

拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光作为RGB信号，以及，

基于所述RGB信号的信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状。

6.根据权利要求1所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，基于所述色彩信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状包括：

拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光作为RGB信号，

将所述RGB信号转换成HSV颜色空间，以及，

基于所述HSV颜色空间的信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状。

7.根据权利要求1所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，在所述阳极氧化铝形成后由照明单元对阳极氧化铝表面照射光之前，进一步具有形成所述阳极氧化铝的工序，该工序包括下述工序（a）~（e）：

（a）在电解液中、恒定电压下对镜面化的铝基材的表面进行阳极氧化，在表面形成氧化皮膜的工序，

（b）去除所述氧化皮膜，在所述铝基材的表面形成阳极氧化的细孔产生点的工序，

（c）在电解液中、恒定电压下对形成了所述细孔产生点的铝基材的表面再次进行阳极氧化，在表面形成具有细孔的氧化皮膜的工序，其中所述细孔与所述细孔产生点对应，

（d）使所述细孔的孔径扩大的工序，

（e）重复进行所述工序（c）和工序（d）的工序。

8.一种阳极氧化铝的检查方法，其为检查具有两个以上的细孔的阳极氧化铝的方法，其包括：

由照明单元对阳极氧化铝的表面照射光，

用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光，

从所述摄像单元拍摄的图像取得色彩信息，以及，

基于所述色彩信息判断所述阳极氧化铝的细孔的纵横比（深度/间距）是否在规定的范围内。

9.根据权利要求8所述的阳极氧化铝的检查方法，其中，用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光包括：

以所述摄像单元的光轴相对于所述阳极氧化铝表面的法线的角度为45~89.9°的方式拍摄。

10.根据权利要求8所述的阳极氧化铝的检查方法，其中，用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光包括：

以所述摄像单元的光轴相对于所述阳极氧化铝表面的法线的角度为65~89.9°的方式拍摄。

11.根据权利要求8所述的阳极氧化铝的检查方法，其中，用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光包括：

以所述摄像单元的光轴相对于所述阳极氧化铝表面的法线的角度为80~89.9°的方式拍摄。

12.根据权利要求8所述的阳极氧化铝的检查方法，其中，基于所述色彩信息判断所述阳极氧化铝的细孔的纵横比（深度/间距）是否在规定的范围内包括：

拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光作为RGB信号，以及，

基于所述RGB信号的信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状。