[发明专利]阳极氧化铝的制造方法、检查装置以及检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种形成于铝基材的表面的、具有两个以上细孔的阳极氧化铝（多孔质的氧化皮膜）的制造方法、检查方法以及检查装置。

本申请主张2010年3月25日在日本提出申请的特愿2010-070279号的优先权，在此引用其全部内容。

背景技术

表面具有可见光波长以下的间距的微细凹凸结构的物品显现了防反射功能等，因此其有用性受到注目。特别是被称为蛾眼（Moth-Eye）结构的微细凹凸结构，已知其由于从空气的折射率到材料的折射率连续增大从而显现出有效的防反射功能。

作为表面具有微细凹凸结构的物品的制造方法，已知有下述的方法，从生产率和经济性的观点来看，（ii）的方法优异。

（i）直接加工透明基材等的表面而制造表面具有微细凹凸结构的物品的方法。

（ii）使用具有对应于微细凹凸结构的反转结构的模具，向透明基材等的表面转印反转结构的方法。

作为在模具上形成反转结构的方法，已知电子射线绘制法、和激光干涉法等。近年，作为可更简便地形成反转结构的方法，将铝基材的表面进行阳极氧化的方法受到注目（例如，参照专利文献1）。

通过对铝基材的表面进行阳极氧化而形成的阳极氧化铝是铝的氧化皮膜（耐酸铝，alumite），具有由间距为可见光的波长以下的两个以上细孔形成的微细凹凸结构。

前述阳极氧化铝中，阳极氧化时，有时浸渍铝基材的电解液的浓度、温度产生不均匀，有时铝基材的表面的性状有不均匀，细孔的深度、细孔间的间距会产生一些不均匀。没有如设计地形成阳极氧化铝的细孔的深度、细孔间的间距的区域的面积增大时，该模具无法用于表面具有微细凹凸结构的物品的制造。但是，目前为止，没有能够简易地检查阳极氧化铝的细孔的深度、细孔间的间距的方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-156695号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明提供一种制造能够简易地检查阳极氧化铝的细孔的深度、细孔间的间距、细孔的形状稳定的阳极氧化铝的方法。

用于解决问题的方案

本发明人鉴于上述问题而进行了深入研究，结果发现，来自阳极氧化铝的反射光的颜色根据阳极氧化铝的细孔的纵横比（深度/间距）而发生变化，从而完成了本发明。

关于来自阳极氧化铝的反射光的颜色，不仅是如肥皂泡上所见的通常的薄膜的干涉色，也反映了阳极氧化铝的细孔的深度、间距等结构的影响。

本发明的阳极氧化铝的检查装置特征在于，为检查具有两个以上细孔的阳极氧化铝的装置，其具有：对阳极氧化铝的表面照射光的照明单元、拍摄来自阳极氧化铝的表面的反射光的摄像单元、基于从摄像单元拍摄的图像获得的色彩信息判断阳极氧化铝的细孔的纵横比（深度/间距）是否在规定的范围内的图像处理单元。

本发明的阳极氧化铝的检查方法特征在于，为检查具有两个以上的细孔的阳极氧化铝的方法，其由照明单元对阳极氧化铝的表面照射光，用摄像单元拍摄来自阳极氧化铝的表面的反射光，从摄像单元拍摄的图像取得色彩信息，并基于前述色彩信息判断阳极氧化铝的细孔的纵横比（深度/间距）是否在规定的范围内。

即，本发明涉及以下内容。

（1）一种阳极氧化铝的制造方法，其为制造具有两个以上细孔的阳极氧化铝的方法，其包括：阳极氧化铝形成后由照明单元对阳极氧化铝表面照射光，用摄像单元拍摄来自前述阳极氧化铝的表面的反射光，从前述摄像单元拍摄的图像取得色彩信息，以及基于前述色彩信息检查前述阳极氧化铝的细孔的形状。

（2）根据（1）所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，用摄像单元拍摄来自前述阳极氧化铝的表面的反射光包括：以前述摄像单元的光轴相对于前述阳极氧化铝表面的法线的角度为45~89.9°的方式拍摄。

（3）根据（1)所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，用摄像单元拍摄来自前述阳极氧化铝的表面的反射光包括：以前述摄像单元的光轴相对于前述阳极氧化铝表面的法线的角度为65~89.9°的方式拍摄。

（4）根据（1）所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，用摄像单元拍摄来自前述阳极氧化铝的表面的反射光包括：以前述摄像单元的光轴相对于前述阳极氧化铝表面的法线的角度为80~89.9°的方式拍摄。