[发明专利]发光装置用基板的制造方法

权利要求书

1.一种发光装置用基板的制造方法，所述发光装置用基板具有支撑基板和设置在该支撑基板上的用于划分多个有机电致发光元件的隔壁，所述隔壁由设置在所述支撑基板上的第1隔壁构件和设置在该第1隔壁构件上的第2隔壁构件构成，

所述制造方法包括：

在所述支撑基板上形成所述第1隔壁构件形成用的第1薄膜的工序，

在所述第1薄膜上形成由感光性树脂构成的第2隔壁构件形成用的第2薄膜的工序，

利用光刻法除去从所述支撑基板的厚度方向的一方看所述第2薄膜中除了与形成有第1隔壁构件的部位重叠的部位以外的残余部位的工序，

利用蚀刻除去所述第1薄膜中的、除了被所述第2薄膜覆盖的部位以外的残余部位而形成第1隔壁构件的工序，以及

利用蚀刻除去所述第2薄膜的表面部而形成第2隔壁构件的工序。

2.如权利要求1所述的发光装置用基板的制造方法，其中，蚀刻所述第2薄膜的表面部的方法为灰化。

3.如权利要求1所述的发光装置用基板的制造方法，其中，所述第1隔壁构件由无机物形成，

在形成第2隔壁构件的工序之后，还包括通过在含有氟化物的氛围中进行等离子体处理来对第2隔壁构件的表面赋予疏液性的工序。

4.一种发光装置的制造方法，其包括：

准备利用权利要求1所述的发光装置用基板的制造方法所制成的发光装置用基板的工序，以及

在所述发光装置用基板上形成有机EL元件的工序。