[发明专利]发光装置用基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及发光装置用基板的制造方法及发光装置的制造方法。

背景技术

发光装置有其光源不同的各种装置。作为多种发光装置中的一种，有使用了有机电致发光元件(以下有时记为有机EL元件)的发光装置。使用了有机EL元件作为光源的发光装置用于例如显示装置中。所述显示装置使用有机EL元件作为像素的光源，目前正被逐步实用化。该显示装置具备起像素作用的多个有机EL元件。多个有机EL元件整列地配置在基板上。通常，在基板上预先配置用于划分有机EL元件的隔壁，再在被该隔壁划分成的区域中分别配置各有机EL元件。

图1是示意性表示将具有被在基板11上设置的隔壁12划分成的多个有机EL元件15而成的发光装置的一部分放大的俯视图。另外，图2是示意性表示将多个有机EL元件15被隔壁12划分成的发光装置的1个分区的剖面图。图1的俯视图是从基板11的厚度方向Z的一方(隔壁侧)观看的图。需要说明的是，在本说明书中，有时将从基板11的厚度方向Z的一方进行观看称为“俯视下”。另外，有时将与上述厚度方向Z垂直的一个方向(图1所示的格子状的隔壁图案的行方向)称为行方向X。同样地，有时将与上述厚度方向Z和行方向X这两者垂直的方向(图1所示的格子状的隔壁图案的列方向)称为列方向Y。

图1中示出设置有格子状的隔壁12的发光装置作为一个例子。另外，图1中，对设置有隔壁12的部分施以阴影。如图1及图2所示，有机EL元件15设置成被隔壁12包围的区域19。

如图2所示，有机EL元件15由第1电极16、第2电极18、以及设置在第1电极16和第2电极18之间的1个或多个有机EL层17构成。需要说明的是，第1电极与阳极及阴极中的任意一者对应，第2电极与同第1电极对置的另一电极对应。另外，通常预先在基板11上图案化形成第1电极16。另外，在具有第1电极16的基板11上形成隔壁12。因此，在由隔壁12形成的区域19上露出第1电极16。有机EL层17能够在上述区域19内的第1电极16上利用例如涂布法来形成。在涂布法中，将包含形成有机EL层17的材料的墨液供给到被隔壁12包围的区域19，再使其固化，由此形成有机EL层17。

在使用了显示亲液性的构件作为隔壁12的情况下，有时供给到被隔壁12包围的区域19的墨液顺着隔壁12的表面溢出到外面。因此，为了使墨液保持在被隔壁12包围的区域19内，而优选在隔壁12中使用显示某种程度的疏液性的物质。另一方面，在使用显示疏液性的隔壁的情况下，有时隔壁表面的性状会影响到有机EL层的成形性。例如在向被显示疏液性的隔壁包围的区域供给墨液时，由于墨液被隔壁表面弹开并发生干燥、固化，所以在有机EL层和隔壁的边界区域上有机EL层的膜厚会与中央部的膜厚不同。因此，为了得到均匀膜厚的有机EL层，优选在隔壁12中使用显示某种程度的亲液性的物质。这样一来，从墨液的保持性的观点出发需要显示某种程度的疏液性的隔壁，但从有机EL层的成形性的观点出发需要显示某种程度的亲液性的隔壁。

因此，在现有技术中，为了同时满足隔壁12所需的相反的要求，如图2所示，使用层叠有对墨液润湿性互不相同的第1隔壁构件13和第2隔壁构件14的隔壁12。即隔壁12构成为层叠显示亲液性的第1隔壁构件13和显示疏液性的第2隔壁构件14。需要说明的是，在俯视下，区域19内的第2隔壁构件14的外缘以与第1隔壁构件13的外缘相比向第1隔壁构件13的内侧退避的方式进行设置。这是因为在有机EL元件15发光的区域19中显示疏液性的第2隔壁构件14的存在会降低对有机EL层17的成形性的影响(例如参照专利文献1)。

下面对用于形成上述的第1隔壁构件13和第2隔壁构件14的工序进行说明。图5A～图5F是对用于形成第1隔壁构件13和第2隔壁构件14的工序进行说明的图。