[发明专利]收集器反射镜组件以及用于产生极紫外辐射的方法

权利要求书

1.一种收集器反射镜组件，包括：

具有反射表面的收集器反射镜和具有边缘的孔，所述孔延伸通过反射表面；

管状主体，所述管状主体延伸通过所述孔，所述管状主体具有内表面和外表面，所述管状主体构造和布置成沿着大致横向于反射表面的方向引导主气流；和

开口，在管状主体的外表面和孔的边缘之间，所述开口布置成引导另外的气流，所述另外的气流与所述主气流分开。

2.根据权利要求1所述的组件，其中所述开口布置成大致沿着反射表面引导所述另外的气流。

3.根据权利要求1或2所述的组件，其中所述管状主体的内表面和外表面中的一者或两者的至少一部分沿着与主气流相逆的方向逐渐收缩。

4.根据前述权利要求中任一项所述的组件，其中一个或更多的壁设置在管状主体的外表面和孔的边缘之间，所述一个或更多的壁被构造和布置成将所述另外的气流分成一个或更多的子流。

5.根据前述权利要求中任一项所述的组件，其中所述收集器反射镜构造成将从第一焦点发射的辐射聚焦到第二焦点，其中所述主气流被引导远离反射表面到达第一焦点和第二焦点中的一者或两者。

6.根据前述权利要求中任一项所述的组件，其中所述开口由管状主体的外表面和孔的边缘形成。

7.一种构造用于产生极紫外辐射的模块，所述模块包括：

供给装置，配置成将点燃材料的一个或更多的液滴供给至预定的目标点燃位置；

辐射源，配置成供给激光束，所述激光束被布置成聚焦到所述预定的目标点燃位置和通过撞击处在所述预定的目标点燃位置处的液滴来产生等离子体，以便将液滴改变成产生极紫外辐射的等离子体；和

根据前述权利要求中任一项所述的组件。

8.根据权利要求7所述的模块，所述组件是根据权利要求5或6所述的组件，所述目标点燃位置是第一焦点。

9.一种光刻投影设备，布置成将图案从图案形成装置投影到衬底上，所述设备包括根据权利要求1-6中任一项所述的组件，或根据权利要求7或8所述的模块。

10.一种用于产生极紫外辐射的方法，包括步骤：

将诸如激光束等辐射束引导到点燃材料的液滴上，所述液滴定位在预定的目标点燃位置，以便将所述液滴改变成配置成产生极紫外辐射的等离子体；

使用根据权利要求1-6中任一项所述的组件、根据权利要求7或8所述的模块或根据权利要求9所述的光刻投影设备朝向所述预定的目标点燃位置反射辐射和引导气流。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述收集器反射镜构造成将由第一焦点发射的辐射聚焦到第二焦点。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述方法包括步骤：

提供通过管状主体的主气流和/或通过开口的所述另外的气流，所述主气流被朝向第一和第二焦点中的一者或两者引导。

13.一种构造成用于产生极紫外辐射的模块，所述模块包括：

供给装置，配置成将点燃材料的一个或更多的液滴供给至预定的目标点燃位置；

辐射源，配置成供给激光束，所述激光束被布置成聚焦到预定的目标点燃位置和通过撞击在所述预定的目标点燃位置处的液滴产生等离子体，以便将液滴改变成产生极紫外辐射的等离子体；和

收集器反射镜组件，包括：

具有反射表面的收集器反射镜和具有边缘的孔，所述孔延伸通过反射表面；

管状主体，所述管状主体延伸通过孔，所述管状主体具有内表面和外表面，所述管状主体构造和布置成沿着大致横向于反射表面的方向引导主气流；和

开口，在管状主体的外表面和孔的边缘之间，所述开口布置成引导另外的气流，所述另外的气流与所述主气流分开。