[发明专利]玻璃技术的三维电感器和变压器设计方法有效

专利信息
申请号: 201180020781.5 申请日: 2011-03-25
公开(公告)号: CN102870192A 公开(公告)日: 2013-01-09
发明(设计)人: 金郑海;米林德·P·沙阿;洛希俊;蓝吉雄;李霞;马修·迈克尔·诺瓦克 申请(专利权)人: 高通股份有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L23/64;H01L27/08;H01L27/12;H01L21/84;H01F17/00;H01F5/00;H01L21/68
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 宋献涛
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 玻璃 技术 三维 电感器 变压器 设计 方法
【权利要求书】:

1.一种在集成电路装置中使用的具有第一端口和第二端口的电感器,所述电感器包括:

高电阻率衬底,其具有顶侧、底侧、第一侧壁和第二侧壁;

在所述衬底的所述顶侧上的多个大体上平行的顶侧导电迹线;

在所述衬底的所述底侧上的多个大体上平行的底侧导电迹线;

在所述衬底的所述第一侧壁上的多个侧壁导电迹线,所述第一侧壁上的所述多个侧壁导电迹线中的每一者将所述多个顶侧导电迹线中的一者耦合到所述多个底侧导电迹线中的一者;以及

在所述衬底的所述第二侧壁上的多个侧壁导电迹线,所述第二侧壁上的所述多个侧壁导电迹线中的每一者将所述多个顶侧导电迹线中的一者耦合到所述多个底侧导电迹线中的一者;

所述多个顶侧导电迹线、底侧导电迹线和侧壁导电迹线形成从所述电感器的所述第一端口到所述第二端口的连续导电路径。

2.根据权利要求1所述的电感器,其中所述高电阻率衬底是由玻璃、蓝宝石或石英制成。

3.根据权利要求1所述的电感器,其中所述顶侧导电迹线是在集成电路裸片的后段工艺处理期间形成。

4.根据权利要求3所述的电感器,其中所述底侧导电迹线是通过所述集成电路裸片的背侧镀敷工艺形成。

5.根据权利要求1所述的电感器,其进一步包括所述衬底的所述第一侧壁和所述第二侧壁上的沟道,所述侧壁导电迹线形成在所述沟道中。

6.根据权利要求1所述的电感器,其中所述侧壁导电迹线被印刷在所述衬底的所述第一侧壁和所述第二侧壁上。

7.根据权利要求1所述的电感器,其进一步包括

耦合到所述衬底的所述第一侧壁和所述第二侧壁的多个顶部接触件,所述多个侧壁导电迹线中的每一者经由所述多个顶部接触件中的一者耦合到所述多个顶侧导电迹线中的一者;以及

耦合到所述衬底的所述第一侧壁和所述第二侧壁的多个底部接触件,所述多个侧壁导电迹线中的每一者经由所述多个底部接触件中的一者耦合到所述多个底侧导电迹线中的一者。

8.根据权利要求1所述的电感器,其进一步包括

所述衬底的所述顶侧上的顶部绝缘层,所述顶部绝缘层在所述衬底的所述顶侧与所述顶侧导电迹线之间;以及

所述衬底的所述底侧上的底部绝缘层,所述底部绝缘层在所述衬底的所述底侧与所述底侧导电迹线之间。

9.根据权利要求8所述的电感器,其进一步包括

耦合到所述顶部绝缘层的多个顶部接触件,所述多个侧壁导电迹线中的每一者经由所述多个顶部接触件中的一者耦合到所述多个顶侧导电迹线中的一者;以及

耦合到所述底部绝缘层的多个底部接触件,所述多个侧壁导电迹线中的每一者经由所述多个底部接触件中的一者耦合到所述多个底侧导电迹线中的一者。

10.根据权利要求1所述的电感器,其中所述多个顶侧导电迹线、底侧导电迹线和侧壁导电迹线形成从所述电感器的所述第一端口到所述第二端口的螺线管状的导电路径。

11.根据权利要求1所述的电感器,其进一步包括选自由以下各者组成的群组的装置:机顶盒、娱乐单元、导航装置、通信装置、个人数字助理PDA、固定位置数据单元、移动位置数据单元、移动电话、蜂窝式电话、计算机、便携式计算机、桌上型计算机、监视器、计算机监视器、电视、调谐器、无线电、卫星无线电、音乐播放器、数字音乐播放器、便携式音乐播放器、视频播放器、数字视频播放器、数字视频光盘DVD播放器和便携式数字视频播放器,所述电感器集成到所述装置中。

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