[发明专利]卤素气体或卤素化合物气体的填充容器用阀

权利要求书

1.一种直接接触型隔膜阀，该直接接触型隔膜阀包括：

阀主体，其设有入口通路和出口通路，卤素气体或卤素化合物气体在该阀主体内部流通；

阀室，其用于与阀主体的入口通路和出口通路相连通；

阀座部，其设于入口通路的内端开口部；

膜片，其设于阀座部的上方，用于保持阀室内的气密状态，并且用于开闭入口通路及出口通路；

阀杆，其用于使膜片的中央部向下方下降；

驱动部，其用于使阀杆沿上下方向移动，

该直接接触型隔膜阀的特征在于，

在阀座部与膜片相接触的接触面中，阀座部的接触面的表面粗糙度Ra的值为0.1μm～10.0μm，

阀座部的接触面的曲率半径R为100mm～1000mm，

膜片与阀座部相接触的接触面积Sb同膜片的气体接触部表面积Sa的面积比率Sb/Sa为0.2％～10％。

2.根据权利要求1所述的直接接触型隔膜阀，其特征在于，

膜片的纵弹性模量为150GPa～250GPa。

3.根据权利要求1或2所述的直接接触型隔膜阀，其特征在于，

在阀主体中流通的卤素气体为氟气，该直接接触型隔膜阀能够安装于以氟气的浓度为20体积％～100体积％、氟气压力为0MPaG～14.7MPaG的条件填充有氟气的高压气体填充容器上。

4.一种高压气体填充容器，其具有权利要求1～3中任意一项所述的直接接触型隔膜阀。