[发明专利]线圈型电子零件及其制造方法

权利要求书

1.一种线圈型电子零件，其特征在于：其在基体的内部或表面具有线圈，通过将含有铁、硅及铬的软磁性合金粒子群与粘合剂所形成的成形体在大气环境下进行400～900℃的热处理，在该成形体中的各软磁性合金粒子的表面生成了此粒子氧化而形成的氧化层，此氧化层与此合金粒子相比含有较多的铬，且粒子彼此经由此氧化层结合而获得基体；所述氧化层从所述软磁性合金粒子侧观看朝向外侧依次包含：所述铁成分的含量降低且所述铬的含量增加的第一氧化层，及所述铁成分的含量增加且所述铬的含量降低的第二氧化层，且在所述第一氧化层中，所述硅的含量具有拐点。

2.根据权利要求1所述的线圈型电子零件，其特征在于：将软磁性体粒子彼此结合的部分的氧化层的厚度厚于不涉及结合的软磁性体粒子表面的氧化层。

3.根据权利要求1所述的线圈型电子零件，其特征在于：将软磁性体粒子彼此结合的部分的氧化层的厚度薄于不涉及结合的软磁性体粒子表面的氧化层。

4.根据权利要求1所述的线圈型电子零件，其特征在于：软磁性体粒子中的至少一部分为包含具有50纳米以上的厚度的氧化层的粒子。

5.根据权利要求1所述的线圈型电子零件，其特征在于：将所述粒子彼此结合的所述氧化层为同一相。

6.根据权利要求1所述的线圈型电子零件，其特征在于：所述软磁性合金的组成是铬2～8wt％、硅1.5～7wt％、铁88～96.5wt％。

7.根据权利要求1所述的线圈型电子零件，其特征在于：软磁性体粒子的算术平均粒径在30微米以下。

8.根据权利要求1所述的线圈型电子零件，其特征在于：氧化层通过使用扫描电子显微镜的能量色散X射线分析并以ZAF法计算出的铬相对于铁的波峰强度比，大于所述粒子中的铬相对于铁的波峰强度比。

9.根据权利要求5所述的线圈型电子零件，其特征在于：氧化层通过使用扫描电子显微镜的能量色散X射线分析并以ZAF法计算出的铬相对于铁的波峰强度比，大于所述粒子中的铬相对于铁的波峰强度比。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的线圈型电子零件，其特征在于：所述线圈其端部与形成在所述基体表面的导体膜电性连接。

11.一种线圈型电子零件，其特征在于：其具有线圈，且基体由软磁性合金粒子群构成；在各软磁性合金粒子的表面生成使此粒子氧化而形成的氧化层；此氧化层与此合金粒子相比含有较多的铬；粒子彼此经由此氧化层而结合；在此基体的内部形成了线圈导体；所述氧化层从所述软磁性合金粒子侧观看朝向外侧依次包含：铁成分的含量降低且铬的含量增加的第一氧化层，及所述铁成分的含量增加且所述铬的含量降低的第二氧化层，且在所述第一氧化层中，硅的含量具有拐点。

12.根据权利要求11所述的线圈型电子零件，其特征在于：线圈导体是导体图案，是与基体同时煅烧的导体。

13.一种线圈型电子零件的制造方法，此线圈型电子零件在基体中设置了线圈，此制造方法包括以下步骤：将粘合剂与软磁性合金粒子的混合物加压而获得成形体；在含氧环境中将所述成形体热处理，在所述软磁性合金粒子的表面形成氧化层，使所述软磁性合金粒子彼此经由氧化层结合而获得基体；及在所述基体中设置线圈及外部导出用电极；所述氧化层从所述软磁性合金粒子侧观看朝向外侧依次包含：铁成分的含量降低且铬的含量增加的第一氧化层，及所述铁成分的含量增加且所述铬的含量降低的第二氧化层，且在所述第一氧化层中，硅的含量具有拐点。

14.一种线圈型电子零件的制造方法，此线圈型电子零件在基体中设置了线圈，此制造方法包括以下步骤：将粘合剂与软磁性合金粒子的混合物加工成片状；在此片材上形成并积层线圈用导电图案而获得成形体；在含氧环境中将所述成形体热处理，在所述软磁性合金粒子的表面形成氧化层，使所述软磁性合金粒子彼此经由氧化层结合而获得内部具有线圈的基体；及在所述基体中设置外部导出用电极；所述氧化层从所述软磁性合金粒子侧观看朝向外侧依次包含：铁成分的含量降低且铬的含量增加的第一氧化层，及所述铁成分的含量增加且所述铬的含量降低的第二氧化层，且在所述第一氧化层中，硅的含量具有拐点。

15.根据权利要求13或14所述的线圈型电子零件的制造方法，其特征在于：所述氧环境为大气环境。