[发明专利]线圈型电子零件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种线圈型电子零件及其制造方法，特别是涉及一种适合作为能够在电路基板上进行表面安装的小型的线圈型电子零件的使用软磁性合金的线圈型电子零件及其制造方法。

背景技术

以往，作为在高频下使用的抗流线圈的磁芯，使用的是铁氧体磁芯、金属薄板的截割磁芯或压粉磁芯。和铁氧体相比，使用金属磁性体具有可以获得高饱和磁通密度的优点。另一方面，金属磁性体本身的绝缘性较低，因此必须实施绝缘处理。专利文献1中，提出了将包含具有表面氧化覆膜的Fe-Al-Si粉末与粘结剂的混合物压缩成形后，在氧化性环境中进行热处理的技术。根据此专利文献，通过在氧化性环境中进行热处理，可在压缩成形时合金粉末表面的绝缘层被破坏时形成氧化层(氧化铝)，从而以低磁芯损失获得具有良好的直流重叠特性的复合磁性材料。专利文献2中，记载了将使用以金属磁性体粒子作为主要成分且含有玻璃的金属磁性体膏所形成的金属磁性体层，与使用含有银等金属的导体膏所形成的导体图案积层，并在积层体内形成线圈图案的积层型电子零件，以及在氮环境中、400℃以上的温度下烧成此积层型电子零件的技术。

[先前技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2001-11563号公报

[专利文献2]日本专利特开2007-27354号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

专利文献1的复合磁性材料由于是使用表面预先形成了氧化覆膜的Fe-Al-Si粉末进行成形，因此压缩成形时需要较大的压力。并且，当应用于功率电感器之类的需要流通更大电流的电子零件时，存在无法充分应对进一步小型化的问题。专利文献2的积层型电子零件需要控制玻璃均匀地被覆金属磁性体粒子，必须利用氮环境，存在生产成本上升的问题。

本发明是鉴于所述情况而成的，本发明提供一种线圈型电子零件及其制造方法，此线圈型电子零件包含可以低成本地生产并兼具高导磁率与高饱和磁通密度两种特性的磁性体。

[解决问题的技术手段]

本发明者们为了达成所述目的而努力研究，结果发现了下述现象，即如果将含有铁、硅及比铁容易氧化的元素的软磁性合金粒子与结合材料混合后成形，在氧环境中对此成形体进行热处理而使结合材料分解，并使软磁性合金粒子的表面氧化而形成氧化层，则热处理后的导磁率高于热处理前的导磁率。而且，本发明者们发现此经过热处理的成形体中，软磁性合金粒子彼此经由氧化层而结合。